还原尾气的无定形硅处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种还原尾气的无定形硅处理系统，包括依次连接的喷淋洗涤装置、过滤装置、换热组件和冷凝装置；所述喷淋洗涤装置用于洗涤还原尾气，得到第一固液混合物；所述过滤装置用于分离所述第一固液混合物，得到液相和第二固液混合物；换热组件用于加热第二固液混合物，分离得到气相和固相；所述冷凝装置用于冷凝所述气相，得到液相；本申请提供的还原尾气的无定形硅处理系统，可以有效分离还原尾气，得到纯净的无定形硅粉和氯硅烷，具有回收利用率高，排放少，能耗小的优点。

【技术实现步骤摘要】
还原尾气的无定形硅处理系统
本技术涉及多晶硅生产制备领域，具体涉及一种还原尾气的无定形硅处理系统。
技术介绍
多晶硅是太阳能光伏行业的基础材料。目前，多晶硅主要采用改良西门子法(即三氯氢硅还原法)生产，指的是利用气相沉积法在还原炉中通过H2来还原SiHCl3从而制备多晶硅，具体反应方程式为：3SiHCl3+H2→2Si+5HCl+SiCl4在实际生产中，还原过程十分复杂，还原尾气主要包括H2、HCl、气相氯硅烷和无定形硅粉等，其中气相氯硅烷包括SiHCl3、SiCl4气体和SiH2Cl2。为了降低原料浪费，一般将还原尾气中的各组分加以回收利用，再次应用于还原系统。现有的还原尾气回收系统，一般使尾气中的无定形硅粉使用过滤器简单过滤后作为废弃物处置；出现无定形硅粉进入气相后系统，造成尾气系统不能长期稳定运行、系统故障率较高，排出硅粉处理难度、费用增加。
技术实现思路
有鉴于此，本申请提供一种还原尾气的无定形硅处理系统，可以有效分离还原尾气，得到纯净的无定形硅粉和氯硅烷，具有回收利用率高，排放少，能耗小的优点。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种还原尾气的无定形硅处理系统，其特征在于，包括依次连接的喷淋洗涤装置(1)、过滤装置(3)、换热组件和冷凝装置(5)；/n所述喷淋洗涤装置(1)用于通入洗涤液洗涤还原尾气，得到第一固液混合物；/n所述过滤装置(3)用于分离所述第一固液混合物，得到液相和第二固液混合物；/n换热组件用于加热第二固液混合物，分离得到气相和固相；/n所述冷凝装置(5)用于冷凝所述气相，得到洗涤液。/n

【技术特征摘要】
1.一种还原尾气的无定形硅处理系统，其特征在于，包括依次连接的喷淋洗涤装置(1)、过滤装置(3)、换热组件和冷凝装置(5)；
所述喷淋洗涤装置(1)用于通入洗涤液洗涤还原尾气，得到第一固液混合物；
所述过滤装置(3)用于分离所述第一固液混合物，得到液相和第二固液混合物；
换热组件用于加热第二固液混合物，分离得到气相和固相；
所述冷凝装置(5)用于冷凝所述气相，得到洗涤液。


2.根据权利要求1所述的还原尾气的无定形硅处理系统，其特征在于，所述喷淋洗涤装置(1)包括：
还原尾气入口(11)，用于通入所述还原尾气；
喷淋组件(12)，设置于所述喷淋洗涤装置(1)内，并连接有液相管道，用于喷淋氯硅烷洗涤液洗涤所述还原尾气，得到所述第一固液混合物；
第一出口(13)，设置于所述喷淋洗涤装置(1)的底部，并连接所述过滤装置(3)，用于送出第一固液混合物。


3.根据权利要求1所述的还原尾气的无定形硅处理系统，其特征在于，所述过滤装置(3)包括：
固液入口(31)，连接所述喷淋洗涤装置(1)，用于通入第一固液混合物；
金属过滤网(32)，设置于固液入口(31)的下方，用于过滤所述第一固液混合物中的固体颗粒物，得到位于上层的液相和位于下层的第二固液混合物；
第一液相出口(34)，设置于过滤装置(3)的顶部，用于溢流过滤装置(3)内静置的液相；
混合物出口(33)，设置于所述金...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗轩，袁中华，汪云清，汪军，
申请(专利权)人：四川永祥多晶硅有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51