【技术实现步骤摘要】
一种加热器支撑基体及加热器
本技术涉及加热器
,特别涉及一种加热器支撑基体及加热器。
技术介绍
现有的加热器一般由在支撑基材上沉积一层热解石墨,(之后)对热解石墨进行雕刻,做出图案,但是在热解石墨表面加工(花纹)形成图案时极容易引起留在支撑基材表面的热解石墨的边缘起层,这种情况的出现会导致整支加热器的报废。
技术实现思路
(一)技术目的本技术的目的是提供一种使加热器成品率更高的加热器支撑基体及加热器。(二)技术方案为解决上述问题,本技术的第一方面提供了一种加热器支撑基体,所述加热器支撑基体的表面形成有第一区域1和第二区域2;所述第一区域1的粗糙度大于所述第二区域2。进一步地,所述第一区域1的粗糙度为1.0~6.0μm。进一步地,所述第二区域2的粗糙度≤0.5μm。进一步地,所述第一区域1和所述第二区域2不在同一平面。进一步地,所述第二区域2凸出于所述第一区域1。进一步地,所述加热器支撑基体为圆筒状;所述第一区域1和所述第二区域2设置于所述加 ...
【技术保护点】
1.一种加热器支撑基体,其特征在于,所述加热器支撑基体的表面形成有第一区域(1)和第二区域(2);/n所述第一区域(1)的粗糙度大于所述第二区域(2),以使沉积于所述第一区域(1)的导电材料相比于沉积于所述第二区域(2)的导电材料不易脱落。/n
【技术特征摘要】
1.一种加热器支撑基体,其特征在于,所述加热器支撑基体的表面形成有第一区域(1)和第二区域(2);
所述第一区域(1)的粗糙度大于所述第二区域(2),以使沉积于所述第一区域(1)的导电材料相比于沉积于所述第二区域(2)的导电材料不易脱落。
2.根据权利要求1所述的加热器支撑基体,其特征在于,所述第一区域(1)的粗糙度为1.0~6.0μm。
3.根据权利要求1所述的加热器支撑基体,其特征在于,所述第二区域(2)的粗糙度≤0.5μm。
4.根据权利要求1所述的加热器支撑基体,其特征在于,所述第一区域(1)和所述第二区域(2)不在同一平面。
5.根据权利要求4所述的加热器支撑基体,其特征在于,所述第二区域(2)凸出于所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员:何军舫,
申请(专利权)人:北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司,博宇天津半导体材料有限公司,博宇朝阳半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。