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一种加热器支撑基体及加热器，其中，所述加热器支撑基体的表面形成有第一区域(1)和第二区域(2)；所述第一区域(1)的粗糙度大于所述第二区域(2)。所述加热器有导电区域和绝缘区域；加热器支撑基体的第一区域(1)覆盖导电材料层形成导电区域，第二...该专利属于北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇(天津)半导体材料有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇(天津)半导体材料有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司授权不得商用。