压紧机构、压电驱动电机以及原子力显微镜制造技术

本发明专利技术涉及一种压紧机构，包括压紧底板、压紧件以及固定件。压紧底板能够与压电驱动电机的基体固定连接。压紧件可转动的设置于压紧底板，压紧件沿自身转轴方向与压紧底板相对固定，压紧件沿自身转轴方向具有第一压紧端。固定件沿自身延伸方向具有第一固定端和第二固定端，第二固定端能够与压电堆垛固定连接，第一固定端与压紧件的第一压紧端螺纹连接。压紧件相对于压紧底板转动时，固定件沿自身延伸方向靠近或者远离压紧底板。本发明专利技术还提供一种包括上述压紧机构的压电驱动电机以及原子力显微镜。上述压紧机构、压电驱动电机以及原子力显微镜，可以保证施加合适的预紧力，也可以在中心棱柱运动过程中保持整个压紧机构的固定，具有更高的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
压紧机构、压电驱动电机以及原子力显微镜
本专利技术涉及微机电
，特别是涉及一种压紧机构、压电驱动电机以及原子力显微镜。
技术介绍
原子力显微镜(AtomicForceMicroscope)是多个学科和研究领域的重要测量、表征以及操控工具。一般的原子力显微镜在工作时需要使用由切向压电片组成的压电驱动电机驱动纳米级探针接近样品并进行扫描。传统的压电驱动电机包括基体、压紧装置、切向压电堆垛、以及中心棱柱，切向压电堆垛夹紧中心棱柱，扫描探针设置在中心棱柱上。向切向压电堆垛中输入周期性锯齿形交流电，单个锯齿的一端斜率较高，切向压电堆垛变形的速率相应也较快，中心棱柱由于惯性保持静止；单个锯齿的另一端斜率较低，切向压电堆垛变形速率相对较慢，中心棱柱将跟随切向压电堆垛移动。如此往复，即可将中心棱柱朝一个方向移动。传统的压电驱动电机一般使用至少两片弹簧对切向压电堆垛施加预紧力，在压电驱动电机运动过程中常会出现两片弹簧由于受力不均而发生振动甚至晃动，这将极大地影响压电驱动过程的精确度和可靠性。
技术实现思路
基于此，有必要针对传统的压电驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压紧机构，其特征在于，包括：/n压紧底板，能够与压电驱动电机的基体固定连接；/n压紧件，可转动的设置于所述压紧底板，所述压紧件沿自身转轴方向与所述压紧底板相对固定，所述压紧件沿自身转轴方向具有第一压紧端；/n固定件，沿自身延伸方向具有第一固定端和第二固定端，所述第二固定端能够与压电驱动电机中的压电堆垛固定连接，所述第一固定端与所述压紧件的所述第一压紧端螺纹连接；/n所述压紧件相对于所述压紧底板转动时，所述固定件沿自身延伸方向靠近或者远离所述压紧底板。/n

【技术特征摘要】
1.一种压紧机构，其特征在于，包括：
压紧底板，能够与压电驱动电机的基体固定连接；
压紧件，可转动的设置于所述压紧底板，所述压紧件沿自身转轴方向与所述压紧底板相对固定，所述压紧件沿自身转轴方向具有第一压紧端；
固定件，沿自身延伸方向具有第一固定端和第二固定端，所述第二固定端能够与压电驱动电机中的压电堆垛固定连接，所述第一固定端与所述压紧件的所述第一压紧端螺纹连接；
所述压紧件相对于所述压紧底板转动时，所述固定件沿自身延伸方向靠近或者远离所述压紧底板。


2.根据权利要求1所述的压紧机构，其特征在于，所述压紧件的所述第一压紧端开设有螺纹孔，所述固定件的所述第一固定端外表面上具有外螺纹，所述第一固定端能够旋入所述第一压紧端上开设的螺纹孔中。


3.根据权利要求1所述的压紧机构，其特征在于，所述压紧底板上开设有压紧通孔，所述压紧件穿设于所述压紧通孔；所述压紧件的所述第一压紧端具有挡环，所述挡环与所述压紧底板靠近所述固定件的一侧面抵接。


4.根据权利要求3所述的压紧机构，其特征在于，所述压紧件沿自身转轴方向远离所述第一压紧端的位置具有驱动结构，所述驱动结构在外力作用下能够带动所述压紧件绕自身轴向转动。


5.根据权利要求4所述的压紧机构，其特征在于，所述压紧件还具有第二压紧端，所述第二压紧端与所述第一压紧端分别为所述压紧件沿自身转轴方向的两端；所述第二压紧端上沿与所述压紧件的轴向垂直的方向开设豁口，进而形成所述驱动结构。


6.根据权利要求3所述的压紧机构，其特征在于，所述压紧件沿自身轴向远离所述挡环的部分开设有外螺纹；所述压紧机构还包括压紧螺母，所述压紧螺母与所述压紧件上开设外螺纹的部分螺纹连接，所述压紧螺母拧紧后与所述压紧底板背离所述挡环的一侧面抵接，所述压紧螺母拧松时允许所述压紧件绕自身轴向相对于所述压紧底板转动。


7.根据权利要求1-6任一项所述的压紧机构，其特征在于，所述压紧机构还包括连接板，所述连接板与所述压紧底板沿所述固定件的延伸方向间隔设置，所述连接板远离所述压紧底板的一侧面具...

【专利技术属性】
技术研发人员：马骁，谭新峰，郭丹，雒建斌，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京;11