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压紧机构、压电驱动电机以及原子力显微镜制造技术
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文档序号:24945038
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本发明涉及一种压紧机构,包括压紧底板、压紧件以及固定件。压紧底板能够与压电驱动电机的基体固定连接。压紧件可转动的设置于压紧底板,压紧件沿自身转轴方向与压紧底板相对固定,压紧件沿自身转轴方向具有第一压紧端。固定件沿自身延伸方向具有第一固定端和...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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