表面处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供表面处理装置，减少浇流式的表面处理装置的处理液的飞散量。在各处理室的入口侧和出口侧具有膜形成机构(110)。膜形成机构(110)以流量5L/min～10L/min喷射不间断的0.01MPa程度的层流状的液体。该液体膜防止在飞散防止部件(60)的表面反弹的液滴弹起而进入处理室。即使板状工件(10)晃动，由于由膜形成机构(110)成的膜是液体，因此即使板状工件(10)与液体膜碰撞，液体也会沿板状工件(10)流动。由此，会减小板状工件(10)的晃动。减小各处理室内的空气向搬运方向的流入量。

【技术实现步骤摘要】
表面处理装置
本专利技术涉及浇流式的表面处理装置，特别涉及防止液体向相邻的处理室的飞溅。
技术介绍
在专利文献1的图10中公开有在工件的下部设置飞散防止件的浇流式的表面处理装置。专利文献1：日本特开2014-88600号公报作为专利文献1的飞散防止件，公开有海绵、过滤器、纤维状材料(东洋软垫公司(TOYOCUSHION)制作的化纤锁(商标))(专利文献1的段落0085)，但这样不能实现足够的飞散防止效果。这是因为，在这些材料之中，都是使与上述飞散防止件的表面碰撞的液滴直接反弹。在产生该反弹时，液体有可能混合到相邻的处理室中。为了解决该问题，考虑了使处理室间的搬入口的大小为与搬入的基板大致相同的方式，但在该情况下，基板稍微晃动就会与搬入口碰撞，使搬入停止。
技术实现思路
本专利技术解决上述问题，其目的在于，提供不会使液体向相邻的处理室混合，并且能够可靠地搬入的浇流式的表面处理装置。并且目的还在于，提供即使是容易接受气流的薄板，也能够防止基板的摇晃的浇流式的表面处理装置。>1)本专利技术的表本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种表面处理装置，其特征在于，该表面处理装置具有：/n第1处理室，其供片状的被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；/n第1处理液浇流机构，其设置于所述第1处理室，使第1处理液从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；/n第2处理室，其与所述第1处理室相邻，供所述被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；/n第2处理液浇流机构，其设置于所述第2处理室，使第2处理液从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；以及/n区分壁，其是设置于所述第1处理室与所述第2处理室之间的区分壁，具有能够使所述被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入的搬入...

【技术特征摘要】
20190110 JP 2019-0028721.一种表面处理装置，其特征在于，该表面处理装置具有：
第1处理室，其供片状的被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；
第1处理液浇流机构，其设置于所述第1处理室，使第1处理液从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；
第2处理室，其与所述第1处理室相邻，供所述被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；
第2处理液浇流机构，其设置于所述第2处理室，使第2处理液从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；以及
区分壁，其是设置于所述第1处理室与所述第2处理室之间的区分壁，具有能够使所述被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入的搬入开口部，
在所述第1处理室的第1处理液浇流机构与所述第2处理室的第2处理液浇流机构之间设置有膜形成机构，该膜形成机构在与所述被处理物被搬入的方向垂直的面上沿重力方向形成薄层状的液体膜。


2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，
所述膜形成机构在所述第1处理室内或所述第2处理室内设置于所述搬入开口部附近。


3.根据权利要求1或2所述的表面处理装置，其特征在于，
该表面处理装置具有空气流量控制机构，该空气流量控制机构控制成使空气沿所述片状的被处理物的2个平面在铅垂方向上流动。


4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的表面处理装置，其特征在于，
所述液体膜由如下液体构成，该液体是与在该处理室中向所述片状的被处理物浇流的液体相同的液体。


5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的表面处理装置，其特征在于，
所述液体膜具有比所述搬入开口部窄的膜开口部。

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【专利技术属性】
技术研发人员：内海雅之，竹内雅治，
申请(专利权)人：上村工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP