进气口清理装置及采用该清理装置的废气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种进气口清理装置及采用该清理装置的废气处理装置，进气口清理装置包括：缸体，具有容纳腔；滑杆，包括相对设置的第一端及第二端，第一端穿过缸体的端部延伸至容纳腔内，第二端位于容纳腔之外；保护套设置在缸体外部，且套设在滑杆上，保护套包括相对设置的固定端及移动端，固定端与缸体的端部抵接，移动端与滑杆的第二端连接，保护套为可伸缩结构；清理件与滑杆的第二端连接；在滑杆的延伸方向上，滑杆能够相对于容纳腔滑动，进而带动清理件移动，以清理进气口。本发明专利技术的优点在于，将所述滑杆与外界环境隔离，从而避免外界的高温及颗粒物影响所述滑杆的滑动，降低了所述进气口清理装置的耗损。

【技术实现步骤摘要】
进气口清理装置及采用该清理装置的废气处理装置
本专利技术涉及废气处理领域，尤其涉及一种进气口清理装置及采用该清理装置的废气处理装置。
技术介绍
在目前半导体生产制造的过程中，均会产生具毒性的工业废气，这些工业废气需要进行处理后才能排放到大气环境中，否则会对环境造成污染与公害。人们对环境保护越来越重视，如何将工业废气妥善处理，避免其污染环境成为工业生产中至关重要的一环。但是，现有的废气处理装置的废气处理效率较低，不能满足需求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种进气口清理装置及采用该清理装置的废气处理装置，其能够降低了所述进气口清理装置的耗损。为了解决上述问题，本专利技术提供了一种进气口清理装置，其包括：缸体，具有一容纳腔；滑杆，包括相对设置的第一端及第二端，所述第一端穿过所述缸体的端部延伸至所述容纳腔内，所述第二端位于所述容纳腔之外；保护套，设置在所述缸体外部，且套设在所述滑杆上，所述保护套包括相对设置的固定端及移动端，所述固定端与所述缸体的端部抵接，所述移动端与所述滑杆的第二端连接，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种进气口清理装置，其特征在于，包括：/n缸体，具有一容纳腔；/n滑杆，包括相对设置的第一端及第二端，所述第一端穿过所述缸体的端部延伸至所述容纳腔内，所述第二端位于所述容纳腔之外；/n保护套，设置在所述缸体外部，且套设在所述滑杆上，所述保护套包括相对设置的固定端及移动端，所述固定端与所述缸体的端部抵接，所述移动端与所述滑杆的第二端连接，所述保护套为可伸缩结构；/n清理件，与所述滑杆的第二端连接；/n在所述滑杆的延伸方向上，所述滑杆能够相对于所述容纳腔滑动，进而带动所述清理件移动，以清理进气口。/n

【技术特征摘要】
1.一种进气口清理装置，其特征在于，包括：
缸体，具有一容纳腔；
滑杆，包括相对设置的第一端及第二端，所述第一端穿过所述缸体的端部延伸至所述容纳腔内，所述第二端位于所述容纳腔之外；
保护套，设置在所述缸体外部，且套设在所述滑杆上，所述保护套包括相对设置的固定端及移动端，所述固定端与所述缸体的端部抵接，所述移动端与所述滑杆的第二端连接，所述保护套为可伸缩结构；
清理件，与所述滑杆的第二端连接；
在所述滑杆的延伸方向上，所述滑杆能够相对于所述容纳腔滑动，进而带动所述清理件移动，以清理进气口。


2.根据权利要求1所述的进气口清理装置，其特征在于，所述滑杆的第一端设置有活塞，所述活塞将所述容纳腔分为第一腔及第二腔，向所述第一腔及所述第二腔内充入气体，以推动所述活塞移动，进而带动所述滑杆相对于所述容纳腔滑动。


3.根据权利要求2所述的进气口清理装置，其特征在于，在所述第一腔及所述第二腔的侧壁均设置有开口，以供气体进出。


4.根据权利要求1所述的进气口清理装置，其特征在于，所述保护套侧壁为褶皱结构，以使所述保护套能够伸缩。


5.根据权利要求4所述的进气口清理装置，其特征在于，所述保护套为波纹管。


6.根据权利要求1所述的进气口清理装置，其特征在于，所述清理件为沿所述滑杆滑动方向延伸的螺旋构型。


7.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42