本实用新型专利技术涉及一种天线位置可调的波导模式转换器及MPCVD装置。MPCVD装置包括设置在输送波导管路与谐振腔之间的波导模式转换器，波导模式转换器包括转换波导管段、天线、支撑滑台及升降驱动装置，转换波导管段用于转接布置在MPCVD装置的输送波导管路与谐振腔之间，天线沿上下方向导向可升降的装配在所述转换波导管段中，天线穿出所述转换波导管段并与所述支撑滑台固定装配，升降驱动装置与支撑滑台滑动连接，以驱使所述支撑滑台带动天线升降调整至设定目标位置。天线固定装配在支撑滑台上，通过升降驱动装置可驱动支撑滑台带动天线升降调整，以实现天线高度位置的调节，使波导模式转换器较容易满足最佳结构，从而提高MPCVD装置中微波的转换效率。
【技术实现步骤摘要】
天线位置可调的波导模式转换器及MPCVD装置
本技术涉及一种天线位置可调的波导模式转换器及MPCVD装置。
技术介绍
微波等离子体化学气相沉积，简称MPCVD，是一种将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器引入反应室中，在微波的激励下，将反应室中的气体分子电离产生等离子体，以在衬底上沉积得到金刚石膜的技术。目前，微波等离子体化学气相沉积法是制备高质量金刚石制品最有效的方法，授权公告号为CN206992279U的技术专利文件中公开了一种微波等离子体系统，该系统包括调谐器、同轴线导体部件以及谐振腔，还包括连接谐振腔和同轴线导体部件的波导同轴转换器，波导同轴转换器具有中空腔体，腔体一端开口，并与调谐器的输出口连接，可将电磁波能量由矩形波导转换并传送到谐振腔中。上述波导同轴转换器具有中空的腔体，腔体内安装有锥体，锥体沿其轴线开设有圆孔，将同轴线导体部件中的同轴线内导体插装固定在圆孔内，以实现同轴线导体部件的固定和安装。但是，同轴线内导体插装固定在圆孔内后，会导致整个微波等离子体系统在使用的过程中，同轴线导体部件的高度无法调节，而影响波导同轴转换器中微波的转换效率。现有技术中，在微波等离子体系统中常配合设置有阻抗调配器，如三销钉调配器，以提高系统的微波传输效率。但是，波导模式转换器的结构直接影响微波的转换效率，如果波导模式转换器不是最佳结构，即使在微波等离子体系统中加入阻抗调配器，也不能充分发挥设备的工作能力。所以，需要提供一种天线位置可调整的波导模式转换器，以提高微波的转换效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种天线位置可调的波导模式转换器，以解决现有波导模式转换器中的天线固定而无法调整的技术问题；相应的，本技术的目的还在于提供一种MPCVD装置，以解决现有微波等离子体化学气相沉积装置在使用的过程中由于波导模式转换器的天线位置固定，而导致波导模式转换器不容易满足最佳结构而影响整个装置的微波转换效率的问题。为实现上述目的，本技术天线位置可调的波导模式转换器的技术方案是天线位置可调的波导模式转换器包括转换波导管段、天线、支撑滑台及升降驱动装置，转换波导管段用于转接布置在MPCVD装置的输送波导管路与谐振腔之间，所述天线沿上下方向导向可升降的装配在所述转换波导管段中，所述天线穿出所述转换波导管段并与所述支撑滑台固定装配，所述升降驱动装置与所述支撑滑台传动连接，以驱使所述支撑滑台带动天线升降调整至设定目标位置。本技术的有益效果是：天线位置可调的波导模式转换器中，天线固定装配在支撑滑台上，通过升降驱动装置可驱动支撑滑台带动天线升降调整至设定目标位置，以实现天线高度位置的调节，使波导模式转换器较容易满足最佳结构，从而提高波导模式转换器中的微波转换效率。进一步地，所述天线相对于所述支撑滑台升降位置可调的固定装配在支撑滑台上。天线相对支撑滑台位置可调，可确保天线的设定目标位置位于支撑滑台的上下移动行程范围内。进一步地，所述天线通过升降位置调整结构固定装配在支撑滑台上，升降位置调整结构包括支撑垫块，支撑垫块垫设在支撑滑台上，并与所述天线支撑配合，以在改变支撑垫块高度时实现天线相对升降滑台升降，升降位置调整结构还包括紧固结构，该紧固结构可在天线相对支撑滑台位置调整后，将天线固定在支撑滑台上。可通过增减支撑垫块的数量或者更换具有不同高度的支撑垫块，实现天线相对支撑滑台位置的调节，而且调节过程方便、快捷，并且还可通过紧固结构固定调节后的天线的位置，以增加天线装配结构的稳定性。进一步地，天线位置可调的波导模式转换器包括位置检测装置，用于检测天线的位置信息，所述升降驱动装置包括电机，电机通过升降驱动机构驱动支撑滑台带动天线升降，所述电机连接有电机控制器，电机控制器根据所述位置检测装置检测到的天线位置信息控制电机工作，进而驱动天线升降调整至所述设定目标位置。电机通过升降驱动机构驱动支撑滑台带动天线升降的结构简单，便于实现，而且对应升降滑台配置有位置检测装置，可实时监测并反馈天线的位置，以通过电机控制器驱动电机动作，从而驱动天线升降调整至设定目标位置。进一步地，所述位置检测装置包括固设在转换波导管段上的霍尔位移传感器，以及固设在支撑滑台上的用于与霍尔位移传感器配合使用的磁块。霍尔位移传感器的抗干扰能力强、精度高，与磁块配合可实现对支撑滑台位置的精确测量。进一步地，天线位置可调的波导模式转换器还包括上限位开关和下限位开关，两限位开关与所述电机控制器连接，以由移动到位的支撑滑台触发进而向电机控制器发出触发信号以限制支撑滑台的位置移动范围。通过限制支撑滑台的位置移动范围，在支撑滑台移动至升降驱动机构的极限位置时，可及时控制电机停止转动，进而对升降驱动机构形成保护。进一步地，所述天线穿出转换波导管段，所述转换波导管段在天线穿出位置处设有防泄漏结构，防泄漏结构包括固定在转换波导管段上的导电泡棉，导电泡棉与天线导电接触。导电泡棉可对天线和转换波导管段的装配间隙处进行电磁屏蔽，防止微波泄漏，而且导电泡棉受挤压后具有较大的形变，在天线高度调整的过程中，可有效避免天线表面被划伤。进一步地，所述转换波导管段上开设有用于供天线穿出的中心孔，在中心孔处设有下法兰和上法兰，下法兰与天线之间形成V形环槽，所述上法兰将所述导电泡棉压装固定在所述V形环槽内。导电泡棉压装在V形环槽内，且与天线接触，可避免导电泡棉脱落，使导电泡棉起到较好的防止微波泄漏的功能。为实现上述目的，本技术MPCVD装置的技术方案是：MPCVD装置包括输送波导管路和谐振腔，还包括转接布置在所述输送波导管路与谐振腔之间的波导模式转换器，波导模式转换器包括转换波导管段、天线、支撑滑台及升降驱动装置，转换波导管段用于转接布置在MPCVD装置的输送波导管路与谐振腔之间，所述天线沿上下方向导向可升降的装配在所述转换波导管段中，所述天线穿出所述转换波导管段并与所述支撑滑台固定装配，所述升降驱动装置与所述支撑滑台传动连接，以驱使所述支撑滑台带动天线升降调整至设定目标位置。本技术的有益效果是：MPCVD装置中，天线固定装配在支撑滑台上，通过升降驱动装置可驱动支撑滑台带动天线升降调整至设定目标位置，以实现天线高度位置的调节，使波导模式转换器较容易满足最佳结构，从而提高MPCVD装置中的微波转换效率。进一步地，所述天线相对于所述支撑滑台升降位置可调的固定装配在支撑滑台上。天线相对支撑滑台位置可调，可确保天线的设定目标位置位于支撑滑台的上下移动行程范围内。进一步地，所述天线通过升降位置调整结构固定装配在支撑滑台上，升降位置调整结构包括支撑垫块，支撑垫块垫设在支撑滑台上，并与所述天线支撑配合，以在改变支撑垫块高度时实现天线相对上将滑台升降，升降位置调整结构还包括紧固结构，该紧固结构可在天线相对支撑滑台位置调整后，将天线固定在支撑滑台上。可通过增减支撑垫块的数量或者更换具有不同高度的支撑垫块，实现天线相对支撑滑台位置的调节，而且调节过程方便、快捷，并且还可通过紧固结构固定调节后的天本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种天线位置可调的波导模式转换器，其特征在于：包括转换波导管段、天线、支撑滑台及升降驱动装置，/n转换波导管段用于转接布置在MPCVD装置的输送波导管路与谐振腔之间，/n所述天线沿上下方向导向可升降的装配在所述转换波导管段中，/n所述天线穿出所述转换波导管段并与所述支撑滑台固定装配，/n所述升降驱动装置与所述支撑滑台传动连接，以驱使所述支撑滑台带动天线升降调整至设定目标位置。/n
【技术特征摘要】
1.一种天线位置可调的波导模式转换器，其特征在于：包括转换波导管段、天线、支撑滑台及升降驱动装置，
转换波导管段用于转接布置在MPCVD装置的输送波导管路与谐振腔之间，
所述天线沿上下方向导向可升降的装配在所述转换波导管段中，
所述天线穿出所述转换波导管段并与所述支撑滑台固定装配，
所述升降驱动装置与所述支撑滑台传动连接，以驱使所述支撑滑台带动天线升降调整至设定目标位置。
2.根据权利要求1所述的天线位置可调的波导模式转换器，其特征在于：所述天线相对于所述支撑滑台升降位置可调的固定装配在支撑滑台上。
3.根据权利要求2所述的天线位置可调的波导模式转换器，其特征在于：所述天线通过升降位置调整结构固定装配在支撑滑台上，升降位置调整结构包括支撑垫块，支撑垫块垫设在支撑滑台上，并与所述天线支撑配合，以在改变支撑垫块高度时实现天线相对升降滑台升降，升降位置调整结构还包括紧固结构，该紧固结构可在天线相对支撑滑台位置调整后，将天线固定在支撑滑台上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的天线位置可调的波导模式转换器，其特征在于：天线位置可调的波导模式转换器包括位置检测装置，用于检测天线的位置信息，所述升降驱动装置包括电机，电机通过升降驱动机构驱动支撑滑台带动天线升降，所述电机连接有电机控制器，电机控制器根据所述位置检测装置检测到的天线位置信息控制...
【专利技术属性】
技术研发人员：范波，吴啸，蔡玉珺，徐帅，
申请(专利权)人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
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