一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置，属于电子产品加工技术领域，一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置，包括炉体外壳，炉体外壳的前后两侧内壁上均固定有支撑板，支撑板上滑动连接有齿板，齿板的下表面上一体成型有多个齿牙，半导体管放置槽上放置有多个半圆形凹槽，炉体外壳的前后两侧内壁上插接有转动轴，转动轴的外壁上位于齿牙的下方转动连接有外齿轮，外齿轮与齿牙啮合设置，外齿轮的前侧壁上同轴固定有内缘棘轮，可以实现对待加工半导体管的单项间歇式输送，无需人工操作进行输送，且由于能够实现间歇式输送，保证半导体管的退火处理效果，另外整个装置的稳定性高，不会产生偏转现象。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置
本专利技术涉及电子产品加工
，更具体地说，涉及一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置。
技术介绍
半导体器件通常利用不同的半导体材料、采用不同的工艺和几何结构，已研制出种类繁多、功能用途各异的多种晶体二极，晶体二极管的频率覆盖范围可从低频、高频、微波、毫米波、红外直至光波。三端器件一般是有源器件，典型代表是各种晶体管(又称晶体三极管)。晶体管又可以分为双极型晶体管和场效应晶体管两类。根据用途的不同，晶体管可分为功率晶体管微波晶体管和低噪声晶体管。除了作为放大、振荡、开关用的一般晶体管外，还有一些特殊用途的晶体管，如光晶体管、磁敏晶体管，场效应传感器等。这些器件既能把一些环境因素的信息转换为电信号，又有一般晶体管的放大作用得到较大的输出信号。退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。现有的退火炉在对半导体器件进行退火处理时，需要人工进行间歇式上料，而不能实现物料的间歇式输送，大大的影响了半导体退火处理的工作效率，且退火炉工作过程中会产生很多废气，通常这些废气都会直接排放，造成了能源的浪费。
技术实现思路
1.要解决的技术问题针对现有技术中存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置，可以实现对待加工半导体管的单项间歇式输送，无需人工操作进行输送，且由于能够实现间歇式输送，保证半导体管的退火处理效果，另外整个装置的稳定性高，不会产生偏转现象。2.技术方案为解决上述问题，本专利技术采用如下的技术方案。一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置，包括炉体外壳，所述炉体外壳内部设有退火机构，所述炉体外壳的前后两侧内壁上均固定有支撑板，所述支撑板上滑动连接有齿板，所述齿板上固定有半导体管放置槽，所述齿板的下表面上一体成型有多个齿牙，所述半导体管放置槽上放置有多个半圆形凹槽，所述炉体外壳的前后两侧内壁上插接有转动轴，所述转动轴水平设置且与齿板相垂直，所述转动轴的外壁上位于齿牙的下方转动连接有外齿轮，所述外齿轮与齿牙啮合设置，所述外齿轮的前侧壁上同轴固定有内缘棘轮，所述转动轴的外壁上位于内缘棘轮的内圈转动连接有转盘，所述转盘的外壁上位于内缘棘轮的前侧固定有竖直设置的转动杆，所述转动杆上铰接有棘爪，所述棘爪与内缘棘轮内壁上的卡槽抵接，所述转盘上固定有第一压缩弹簧，且第一压缩弹簧的端部与棘爪侧壁固定连接，所述转动杆的顶端铰接有推杆，所述炉体外壳上设置有用于驱动推杆左右往复运动的气动驱动机构。装置工作时，推杆由气动驱动机构驱动往右移动，从而推动转动杆右移并带动棘爪沿着内缘棘轮内部的卡槽顺时针转动，并与其他的某个卡槽抵接，当推杆由启动驱动机构往左复位时，拉动内缘棘轮以转动轴为中心进行逆时针转动，从而带动外齿轮逆时针转动，由于外齿轮与齿板底部的齿牙啮合，从而带动齿板进行移动，气动驱动机构驱动推杆进行间歇式往复运动实现对半导体管的单向间歇式输送，整个装置的稳定性高，不会产生偏转现象。进一步的，所述气动驱动机构包括固定在炉体外壳左侧内壁上的固定筒，所述固定筒内部靠近固定筒内底部卡接有活塞，所述推杆插入固定筒内部且与活塞的右侧壁铰接，所述固定筒的内部位于活塞的右侧固定有限位板，所述推杆贯穿限位板设置，所述活塞与限位板之间连接有多组第二压缩弹簧，所述炉体外壳的左侧外壁上开设有出气口，所述出气口处固定连接有连通管，所述固定筒的左侧壁上开设有进气口，且进气口处连接有单向阀，所述连通管的底端与单向阀相连接，所述连通管上固定有间歇式放气阀，所述固定筒上位于活塞与固定筒内底部之间开设有排气口，且排气口处固定有电控排气阀，所述固定筒内壁上位于活塞与固定筒内底部之间固定有压力传感器，所述压力传感器与电控排气阀电性连接。退火处理时产生的气体由连通管进入固定筒内部，由于设置有间歇式放气阀，能够实现间歇式放气，能够实现固定筒内部压强缓慢增大，当固定筒内部压强逐渐增大时，挤压活塞往右移动实现对推杆持续往右推动，当压力传感器检测到固定筒内部压强过大时，电控排气阀进行放气，固定筒内部压强瞬间减小，在第二压缩弹簧的回复力作用下带动活塞复位，从而实现了对推杆的左右间歇式往复驱动。进一步的，所述半导体管放置槽上开设有等间距排布的半圆形凹槽，所述半圆形凹槽与半导体管相匹配，所述半导体管放置在半圆形凹槽内部，所述半圆形凹槽的内壁上一体成型有多个用于增大摩擦力的摩擦齿。在半导体管放置槽上开设半圆形凹槽，能够避免移动过程中半导体管产生位移或晃动，保证退火的稳定进行，摩擦齿能够进一步的增大半导体管与半圆形凹槽内壁之间的摩擦力。进一步的，所述排气口处连接有导气管，所述炉体外壳的内底部固定有尾气收集处理装置，所述导气管与尾气收集处理装置的进气口相连接。尾气收集处理装置能够对排出的气体进行收集和简单处理后再排放，避免直接排放造成的污染。进一步的，所述推杆、固定筒、活塞和限位板采用不锈钢材质制成。推杆、固定筒、活塞和限位板采用不锈钢材质制成，能避免因高温产生形变导致设备无法正常工作的现象。进一步的，所述电控排气阀为耐高温电控阀，所述压力传感器为耐高温压力传感器。电控排气阀为耐高温电控阀，压力传感器为耐高温压力传感器，能够避免因高温导致损坏造成设备无法工作的现象。进一步的，使用方法包括以下步骤：S1、将半导体管半圆形凹槽放置在半导体管放置槽的半圆形凹槽内，启动退火机构对进行退火；S2、退火过程中产生的气体进入连通管内部，间歇式放气阀进行间歇式放气将气体导入固定筒内部，当固定筒内部压强逐渐增大时，挤压活塞往右移动实现对推杆持续往右推动，推杆推动转动杆右移并带动棘爪沿着内缘棘轮内部的卡槽顺时针转动，并与其他的某个卡槽抵接；S3、当压力传感器检测到固定筒内部压强过大时，电控排气阀进行放气，固定筒内部压强瞬间减小，在第二压缩弹簧的回复力作用下带动活塞复位，活塞复位带动推杆复位，推杆复位时拉动内缘棘轮以转动轴为中心进行逆时针转动，从而带动外齿轮逆时针转动，由于外齿轮与齿板底部的齿牙啮合，带动齿板进行移动，完成对半导体管的单向间歇式输送；S4、输送全部完成后，取出半导体管，重新放入下一批半导体管，将半导体管放置槽复位，重复S2-S3进行下一批次的加工。3.有益效果相比于现有技术，本专利技术的优点在于：(1)本专利技术可以实现对待加工半导体管的单项间歇式输送，无需人工操作进行输送，且由于能够实现间歇式输送，保证半导体管的退火处理效果，另外整个装置的稳定性高，不会产生偏转现象。...

【技术保护点】
1.一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置，包括炉体外壳(1)，所述炉体外壳(1)内部设有退火机构，其特征在于：所述炉体外壳(1)的前后两侧内壁上均固定有支撑板，所述支撑板上滑动连接有齿板(2)，所述齿板(2)上固定有半导体管放置槽(3)，所述齿板(2)的下表面上一体成型有多个齿牙，所述半导体管放置槽(3)上放置有多个半圆形凹槽(4)，所述炉体外壳(1)的前后两侧内壁上插接有转动轴(6)，所述转动轴(6)水平设置且与齿板(2)相垂直，所述转动轴(6)的外壁上位于齿牙的下方转动连接有外齿轮(7)，所述外齿轮(7)与齿牙啮合设置，所述外齿轮(7)的前侧壁上同轴固定有内缘棘轮(8)，所述转动轴(6)的外壁上位于内缘棘轮(8)的内圈转动连接有转盘(9)，所述转盘(9)的外壁上位于内缘棘轮(8)的前侧固定有竖直设置的转动杆(10)，所述转动杆(10)上铰接有棘爪(11)，所述棘爪(11)与内缘棘轮(8)内壁上的卡槽抵接，所述转盘(9)上固定有第一压缩弹簧(12)，且第一压缩弹簧(12)的端部与棘爪(11)侧壁固定连接，所述转动杆(10)的顶端铰接有推杆(13)，所述炉体外壳(1)上设置有用于驱动推杆(13)左右往复运动的气动驱动机构。/n...

【技术特征摘要】
1.一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置，包括炉体外壳(1)，所述炉体外壳(1)内部设有退火机构，其特征在于：所述炉体外壳(1)的前后两侧内壁上均固定有支撑板，所述支撑板上滑动连接有齿板(2)，所述齿板(2)上固定有半导体管放置槽(3)，所述齿板(2)的下表面上一体成型有多个齿牙，所述半导体管放置槽(3)上放置有多个半圆形凹槽(4)，所述炉体外壳(1)的前后两侧内壁上插接有转动轴(6)，所述转动轴(6)水平设置且与齿板(2)相垂直，所述转动轴(6)的外壁上位于齿牙的下方转动连接有外齿轮(7)，所述外齿轮(7)与齿牙啮合设置，所述外齿轮(7)的前侧壁上同轴固定有内缘棘轮(8)，所述转动轴(6)的外壁上位于内缘棘轮(8)的内圈转动连接有转盘(9)，所述转盘(9)的外壁上位于内缘棘轮(8)的前侧固定有竖直设置的转动杆(10)，所述转动杆(10)上铰接有棘爪(11)，所述棘爪(11)与内缘棘轮(8)内壁上的卡槽抵接，所述转盘(9)上固定有第一压缩弹簧(12)，且第一压缩弹簧(12)的端部与棘爪(11)侧壁固定连接，所述转动杆(10)的顶端铰接有推杆(13)，所述炉体外壳(1)上设置有用于驱动推杆(13)左右往复运动的气动驱动机构。


2.根据权利要求1所述的一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置，其特征在于：所述气动驱动机构包括固定在炉体外壳(1)左侧内壁上的固定筒(14)，所述固定筒(14)内部靠近固定筒(14)内底部卡接有活塞(15)，所述推杆(13)插入固定筒(14)内部且与活塞(15)的右侧壁铰接，所述固定筒(14)的内部位于活塞(15)的右侧固定有限位板(16)，所述推杆(13)贯穿限位板(16)设置，所述活塞(15)与限位板(16)之间连接有多组第二压缩弹簧(17)，所述炉体外壳(1)的左侧外壁上开设有出气口(18)，所述出气口(18)处固定连接有连通管(19)，所述固定筒(14)的左侧壁上开设有进气口，且进气口处连接有单向阀(20)，所述连通管(19)的底端与单向阀(20)相连接，所述连通管(19)上固定有间歇式放气阀(21)，所述固定筒(14)上位于活塞(15)与固定筒(14)内底部之间开设有排气口，且排气口处固定有电控排气阀(22)，所述固定筒(14)内壁上位于活塞(15)与固定筒(14)内底部之间固定有压力传感器(23)，所述压力传感器(23)与电控排气阀(22)电性连接。

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【专利技术属性】
技术研发人员：窦进军，
申请(专利权)人：江苏久茂精密电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32