半导体工艺的自动化运作方法技术

本发明专利技术公开一种半导体工艺的自动化运作方法，包括下列步骤，首先，提供多台工艺设备，多台工艺设备是进行相同的工艺作业；接着，依据多台工艺设备的闲置信号自进料位置取得待测基板；然后，输送待测基板至多台工艺设备中产生闲置信号的工艺设备，工艺设备接收待测基板后执行工艺作业；之后，依据多台工艺设备的完成信号，自产生完成信号的工艺设备上搬送待测基板至出料位置，而使工艺设备再次产生闲置信号，也就是重新接收新的待测基板。

【技术实现步骤摘要】
半导体工艺的自动化运作方法
本专利技术涉及一种半导体工艺运作方法，特别涉及一种半导体工艺的自动化运作方法
技术介绍
随着因特网发展，各种机器设备都可通过有线或无线网络相互传送信号，以达成自动化工业。但目前半导体或面板等工业进行相关工艺作业时仍采取分站式规划，这种规划方式不利于整厂自动化。再者，设备与设备之间没有构成通讯，导致待测基板通常会在进料位置、等待位置或出料位置等停留一些时间，以等待被搬送至下一工艺作业，但等待除了让暴露在空气中的待测基板增加被污染的机会外，也让让工艺的效率不佳，因此，有效率地输送待测基板来减少等待时间将可提升工艺品质，这也是亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于上述缺失，本专利技术的目的在于提供一种半导体工艺的自动化运作方法，可通过工艺设备与搬送系统之间的通讯来提高制成效率，更可提高品质。本专利技术的半导体工艺的自动化运作方法包括下列步骤，首先，提供多台工艺设备，多台工艺设备是进行相同的工艺作业；接着，依据多台工艺设备的闲置信号自进料位置取得待测基板；然后，输送待测基板至多台工艺设备中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体工艺的自动化运作方法，其特征在于，包括步骤：/n提供多台工艺设备，该多台工艺设备是进行相同的工艺作业；/n依据该多台工艺设备的闲置信号自一进料位置取得一待测基板；/n输送该待测基板至该多台工艺设备中产生该闲置信号的工艺设备，该工艺设备接收该待测基板后执行该工艺作业；及/n依据该多台工艺设备的完成信号，自产生该完成信号的该工艺设备上搬送该待测基板至一出料位置，而使该工艺设备再次产生该闲置信号。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺的自动化运作方法，其特征在于，包括步骤：
提供多台工艺设备，该多台工艺设备是进行相同的工艺作业；
依据该多台工艺设备的闲置信号自一进料位置取得一待测基板；
输送该待测基板至该多台工艺设备中产生该闲置信号的工艺设备，该工艺设备接收该待测基板后执行该工艺作业；及
依据该多台工艺设备的完成信号，自产生该完成信号的该工艺设备上搬送该待测基板至一出料位置，而使该工艺设备再次产生该闲置信号。


2.根据权利要求1所述的半导体工艺的自动化运作方法，其特征在于，输送是依据该闲置信号产生的顺序依序输送该待测基板给该多台工艺设备。


3.根据权利要求1所述的半导体工艺的自动化运作方法，其特征在于，搬送是依据该完成信号产生的顺序依序搬走该多台工艺设备上的该待测基板。


4.根据权利要求1所述的半导体工艺的自动化运作方法，其特征在于，输送是将该待测基板自该进料位置送到至少一等待位置，该多台工艺设备移动到该至少一等待位置以接收该待测基板。


5.根据权利要求4所述的半导体工艺的自动化运作方法，其特征在于，搬送是该工艺设备移回该至少一等待位置，并将该工艺设备上的该待测基板送至该出料位置。

【专利技术属性】
技术研发人员：陈赞仁，郭中一，吴至钦，
申请(专利权)人：东捷科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71