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本发明公开一种半导体工艺的自动化运作方法，包括下列步骤，首先，提供多台工艺设备，多台工艺设备是进行相同的工艺作业；接着，依据多台工艺设备的闲置信号自进料位置取得待测基板；然后，输送待测基板至多台工艺设备中产生闲置信号的工艺设备，工艺设备接收...
该专利属于东捷科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东捷科技股份有限公司授权不得商用。

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