一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法技术

本发明专利技术提出一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，该方法包括：将S参数网络分析仪的两测试端口通过传输线缆连接测试夹具；将待测真空电容的两端连接在所述测试夹具中的微带线与地线之间；测量待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值；根据待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值，计算输出该待测真空电容的ESR值和Q值。本发明专利技术所示方法首先利用S参数网络分析仪计算出真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值，再根据谐振频率、S21数值与ESR和Q值之间的关系可准确计算出ESR和Q值，具有测量结果准，测试过程简单方便的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法
本专利技术涉及真空电容检测
，尤其涉及一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法。
技术介绍
真空电容器就是以真空作为介质的电容器。这种电容器的电极组是采用高导无氧铜带通过一整套高精度模具一道道引伸而形成的一组同心圆柱形电极被密封在一个真空容器中。因此其性能稳定可靠，不容易产生飞弧、电晕等现象。理论上，电容自身不会产生任何能量损失，但是实际上，因为制造电容的材料有电阻，电容的绝缘介质有损耗，这个损耗在外部，表现为就像一个电阻跟电容串连在一起，所以该电阻称之为“等效串连电阻”，简称为ESR。而电容的Q值是衡量电容器件的主要参数.是指电容器在某一频率的交流电压下工作时,所呈现的容抗与其等效损耗电阻之比。电容的ESR和Q值对电容在高频应用电路中产生的影响巨大，如不能准确测量ESR和Q值会严重影响电容的使用效果。鉴于此，如何提供一种准确测量真空电容ESR和Q值的方法是本领域技术人员需要解决的技术难题。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，包括：/n步骤一：将S参数网络分析仪的两测试端口通过传输线缆连接测试夹具；/n步骤二：将待测真空电容的两端连接在所述测试夹具中的微带线与地线之间；/n步骤三：测量待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值；/n步骤四：根据待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值，计算输出该待测真空电容的ESR值和Q值。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，包括：
步骤一：将S参数网络分析仪的两测试端口通过传输线缆连接测试夹具；
步骤二：将待测真空电容的两端连接在所述测试夹具中的微带线与地线之间；
步骤三：测量待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值；
步骤四：根据待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值，计算输出该待测真空电容的ESR值和Q值。


2.根据权利要求1所述的一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，所述S参数网络分析仪的响应频率的下限不高于200kHz，所述S参数网络分析仪的响应频率的上限不低于3GHz。


3.根据权利要求1所述的一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，所述传输线缆与所述测试夹具的阻抗不低于50Ω。


4.根据权利要求1所述的一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，步骤二连接完成后，对所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张超，刘锐，孙鹏，
申请(专利权)人：江苏神州半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32