一种自测试MEMS热电堆红外探测器制造技术

本发明专利技术提供的自测试MEMS热电堆红外探测器，包括衬底及层叠设置于其表面的支撑层，支撑层背离衬底的表面设置有热电堆组件及红外吸收单元，红外吸收单元与热电堆组件接触以实现两者热连通，热电堆组件和红外吸收单元之间设置有电绝缘结构；还包括自检部件，当其施压端外接电源及接地端接地时，其产生的热量通过红外吸收单元传导至热电堆组件使之产生电势差，从而可以得到热电堆的电学响应率；通过将两次施压得到的电学响应率差值与响应率差值预设阈值对比，即可判断器件是否正常工作，从而实现了MEMS热电堆探测器自测试功能避免使用专门设备进行测试，有效降低了测试成本，减少了器件测试过程的耗时，使器件的使用更加便利。

【技术实现步骤摘要】
一种自测试MEMS热电堆红外探测器
本专利技术涉及热电堆传感器
，具体涉及一种自测试MEMS热电堆红外探测器。
技术介绍
热电堆探测器的工作原理是以塞贝克效应为基础，通过探测物体发射的红外电磁波将其转换为可测电信号表征物理温度。利用热电堆环境适应性、小尺寸、方便性等优点，红外热电堆传感器广泛应用于红外搜查、非接触测温、安防、智能电器、有害气体监测等行业。随着微电子技术的发展，微电子机械系统(MEMS：Micro－Electro－MechanicalSystem)的概念得到广泛关注。凭借MEMS技术，半导体材料及工艺被应用到热电堆传感器中，形成了MEMS热电堆传感器。MEMS热电堆传感器够实现非接触式测温，而且具备很高的灵敏度，能够监测微小的温度变化。然而MEMS热电堆传感器的参数值可能会因为环境的改变和制造工艺的波动而变化，其灵敏度也会受到环境影响，因此在实际应用前需要利用专门设备进行测试，增加了器件测试过程的耗时，具有较高的测试成本。
技术实现思路
因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有MEMS热电堆传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自测试MEMS热电堆红外探测器，包括衬底及层叠设置于其表面的支撑层，所述支撑层背离所述衬底的表面设置第一设置区和第二设置区，其特征在于，/n所述第一设置区内设置热电堆组件，所述第二设置区内设置红外吸收单元，所述红外吸收单元与热电堆组件接触以实现两者热连通；/n所述热电堆组件和红外吸收单元之间设置用于避免两者电接触的电绝缘结构；以及，还包括，/n自检部件，设置于所述第二设置区且与所述红外吸收单元接触，所述自检部件具有接地端和施压端，所述施压端外接电源及接地端接地时，所述自检部件产生的热量通过红外吸收单元传导至热电堆组件。/n

【技术特征摘要】
1.一种自测试MEMS热电堆红外探测器，包括衬底及层叠设置于其表面的支撑层，所述支撑层背离所述衬底的表面设置第一设置区和第二设置区，其特征在于，
所述第一设置区内设置热电堆组件，所述第二设置区内设置红外吸收单元，所述红外吸收单元与热电堆组件接触以实现两者热连通；
所述热电堆组件和红外吸收单元之间设置用于避免两者电接触的电绝缘结构；以及，还包括，
自检部件，设置于所述第二设置区且与所述红外吸收单元接触，所述自检部件具有接地端和施压端，所述施压端外接电源及接地端接地时，所述自检部件产生的热量通过红外吸收单元传导至热电堆组件。


2.根据权利要求1所述的自测试MEMS热电堆红外探测器，其特征在于，
所述自检部件设置于所述红外吸收单元底部，且位于所述电绝缘结构远离所述热电堆组件的一侧；或，
所述自检部件设置于所述红外吸收单元底部，且远离所述电绝缘结构；或，
所述自检部件设置于所述红外吸收单元的上方。


3.根据权利要求1或2所述的自测试MEMS热电堆红外探测器，其特征在于，所述自检部件为石墨烯层。


4.根据权利要求1－3任一项所述的自测试MEMS热电堆红外探测器，其特征在于，所述红外吸收单元包括层叠设置的氮化硅吸收层和石墨烯吸收层，所述氮化硅吸收层设置于第二设置区，所述氮化硅吸收层和/或石墨烯吸收层...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁雪峰，张琛琛，毛海央，
申请(专利权)人：无锡物联网创新中心有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32