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本发明提供的自测试MEMS热电堆红外探测器，包括衬底及层叠设置于其表面的支撑层，支撑层背离衬底的表面设置有热电堆组件及红外吸收单元，红外吸收单元与热电堆组件接触以实现两者热连通，热电堆组件和红外吸收单元之间设置有电绝缘结构；还包括自检部件，...
该专利属于无锡物联网创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡物联网创新中心有限公司授权不得商用。

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