【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种扩散炉的炉门密封装置，包括有石英炉门（３）和ＳｉＣ桨（１０），其特征在于：所述密封装置包括有Ｏ型密封圈（４）、固定管（８）和波纹管（７），所述Ｏ型密封圈（４）设置在石英炉门（３）与工艺管之间；所述固定管（８）紧密接触在ＳｉＣ桨（１０）外，且在石英炉门（３）上ＳｉＣ桨（１０）穿孔处设有一内方外圆的突起法兰（６）；所述波纹管（７）设置在突起法兰（６）和固定管（８）之间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李补忠，钟华，盛金龙，郝晓明，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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