【技术实现步骤摘要】
一种简单的低压炉管检漏辅助工具
本技术属于低压炉管检漏设备
,尤其涉及一种简单的低压炉管检漏辅助工具。
技术介绍
低压炉管的难点在于漏率,漏率不行,往往会导致产品异常,严重的甚至会造成产品报废。这里首先要介绍两个专业名词极限真空和本底漏率。"极限真空"完整名称是"极限真空度",是指微型真空泵能达到的最大真空度。比如,某台抽气能力很弱的微型真空泵,它经过无限长的时间也只能把密闭容器内的气体压力由常态的100KPa降到80KPa,那么80KPa就是这台微型真空泵的极限真空度。一般极限真空可以直接反应设备是否大漏,但是微漏往往是极限真空反应不出的,这里就引进了本底漏率,在这里本底漏率可以简单的理解为在极限真空情况下,一定时间内压力所产生的差值。比如,设备的极限真空是10Pa,将微型真空泵关闭,在60S内,设备内压力变成了12Pa,那么2Pa就是这台设备60S的本底漏率。低压炉管由于其固有特性和设备所做工艺,会定期拆卸炉口法兰和石英件进行保养。拆卸后再次安装稍不到位就会造成设备漏率不好。而炉口法兰处石英 ...
【技术保护点】
1.一种简单的低压炉管检漏辅助工具,其特征在于:包括堵头(1)、连接件(2)、定位件(3)和密封圈(4),所述堵头(1)包括依次固定连接的安装部(11)和限位部(12),所述定位件(3)和密封圈(4)均套设在安装部(11)上,所述连接件(2)上贯穿有容纳腔(21),所述连接件(2)通过所述容纳腔(21)套设在安装部(11)上,所述连接件(2)的端部与限位部(12)接触,所述容纳腔(21)靠近限位部(12)的一端向内延伸有限位凸缘(22),所述定位件(3)和密封圈(4)均位于容纳腔(21)内,且所述密封圈(4)、定位件(3)、限位凸缘(22)和限位部(12)依次设置,所述容纳 ...
【技术特征摘要】
1.一种简单的低压炉管检漏辅助工具,其特征在于:包括堵头(1)、连接件(2)、定位件(3)和密封圈(4),所述堵头(1)包括依次固定连接的安装部(11)和限位部(12),所述定位件(3)和密封圈(4)均套设在安装部(11)上,所述连接件(2)上贯穿有容纳腔(21),所述连接件(2)通过所述容纳腔(21)套设在安装部(11)上,所述连接件(2)的端部与限位部(12)接触,所述容纳腔(21)靠近限位部(12)的一端向内延伸有限位凸缘(22),所述定位件(3)和密封圈(4)均位于容纳腔(21)内,且所述密封圈(4)、定位件(3)、限位凸缘(22)和限位部(12)依次设置,所述容纳腔(21)...
【专利技术属性】
技术研发人员:钱力,
申请(专利权)人:爱特微张家港半导体技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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