一种简单的低压炉管检漏辅助工具制造技术

技术编号:24820600 阅读:31 留言:0更新日期:2020-07-08 06:11
本实用新型专利技术属于低压炉管检漏设备技术领域,尤其涉及一种简单的低压炉管检漏辅助工具,包括堵头、连接件、定位件和密封圈,堵头包括依次固定连接的安装部和限位部,定位件和密封圈均套设在安装部上,连接件上贯穿有容纳腔,连接件通过容纳腔套设在安装部上,连接件的端部与限位部接触,容纳腔靠近限位部的一端向内延伸有限位凸缘,定位件和密封圈均位于容纳腔内,且密封圈、定位件、限位凸缘和限位部依次设置,容纳腔远离限位部的一端攻设有连接螺纹。有益效果:本实用新型专利技术的简单的低压炉管检漏辅助工具,结构简单,使用方便,不需要额外购置检漏仪器,只需要辅助现有真空泵自行检漏就行,能快速解决常见漏率不过问题,成本低廉,且便于携带。

【技术实现步骤摘要】
一种简单的低压炉管检漏辅助工具
本技术属于低压炉管检漏设备
,尤其涉及一种简单的低压炉管检漏辅助工具。
技术介绍
低压炉管的难点在于漏率,漏率不行,往往会导致产品异常,严重的甚至会造成产品报废。这里首先要介绍两个专业名词极限真空和本底漏率。"极限真空"完整名称是"极限真空度",是指微型真空泵能达到的最大真空度。比如,某台抽气能力很弱的微型真空泵,它经过无限长的时间也只能把密闭容器内的气体压力由常态的100KPa降到80KPa,那么80KPa就是这台微型真空泵的极限真空度。一般极限真空可以直接反应设备是否大漏,但是微漏往往是极限真空反应不出的,这里就引进了本底漏率,在这里本底漏率可以简单的理解为在极限真空情况下,一定时间内压力所产生的差值。比如,设备的极限真空是10Pa,将微型真空泵关闭,在60S内,设备内压力变成了12Pa,那么2Pa就是这台设备60S的本底漏率。低压炉管由于其固有特性和设备所做工艺,会定期拆卸炉口法兰和石英件进行保养。拆卸后再次安装稍不到位就会造成设备漏率不好。而炉口法兰处石英件安装不到位往往是造本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种简单的低压炉管检漏辅助工具,其特征在于:包括堵头(1)、连接件(2)、定位件(3)和密封圈(4),所述堵头(1)包括依次固定连接的安装部(11)和限位部(12),所述定位件(3)和密封圈(4)均套设在安装部(11)上,所述连接件(2)上贯穿有容纳腔(21),所述连接件(2)通过所述容纳腔(21)套设在安装部(11)上,所述连接件(2)的端部与限位部(12)接触,所述容纳腔(21)靠近限位部(12)的一端向内延伸有限位凸缘(22),所述定位件(3)和密封圈(4)均位于容纳腔(21)内,且所述密封圈(4)、定位件(3)、限位凸缘(22)和限位部(12)依次设置,所述容纳腔(21)远离限位部...

【技术特征摘要】
1.一种简单的低压炉管检漏辅助工具,其特征在于:包括堵头(1)、连接件(2)、定位件(3)和密封圈(4),所述堵头(1)包括依次固定连接的安装部(11)和限位部(12),所述定位件(3)和密封圈(4)均套设在安装部(11)上,所述连接件(2)上贯穿有容纳腔(21),所述连接件(2)通过所述容纳腔(21)套设在安装部(11)上,所述连接件(2)的端部与限位部(12)接触,所述容纳腔(21)靠近限位部(12)的一端向内延伸有限位凸缘(22),所述定位件(3)和密封圈(4)均位于容纳腔(21)内,且所述密封圈(4)、定位件(3)、限位凸缘(22)和限位部(12)依次设置,所述容纳腔(21)...

【专利技术属性】
技术研发人员:钱力
申请(专利权)人:爱特微张家港半导体技术有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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