一种真空传送片装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种真空传送片装置，包括：腔体(1)、滑轨导向装置(2)、机械手(3)、钢带驱动机构(4)、传感器装置(5)和腔盖(6)，其中，所述腔体(1)和腔盖(6)之间采用铰链连接，形成可开启的密闭空间，所述滑轨导向装置(2)与所述机械手(3)连接，使机械手(3)沿滑轨导向方向运动，所述钢带驱动机构(4)与机械手(3)的中间部位相连接驱动所述机械手(3)运动，所述传感器装置(5)设置在所述腔体(1)的侧面靠近端部的位置，精确控制所述机械手(3)的行程及初始、终止位置。本发明专利技术能够实现机械手的运行的精确控制，并且可以调节其运行行程，适用于多种半导体设备的晶片取送。

【技术实现步骤摘要】
一种真空传送片装置
本专利技术涉及半导体
，具体涉及一种真空传送片装置。
技术介绍
随着科技飞速发展，半导体行业的重要性日见突出，半导体制造的自动化及要求也越来越高。半导体行业中很多设备都需要用到真空机械手传送晶片，但目前商品化、成品化的真空传片机械手非常少，而且此类真空传片机械手一般都是多用于多个设备集成的机台，成本也较高。针对单个机台使用的真空传片装置多为定制化，加工零件成本高昂，而且结构复杂，装配难度高，要求精度高，应用性能也缺乏可靠性。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术公开一种真空传送片装置，包括：腔体、滑轨导向装置、机械手、钢带驱动机构、传感器装置和腔盖，其中，所述腔体和腔盖之间采用铰链连接，形成可开启的密闭空间，所述滑轨导向装置与所述机械手连接，使机械手沿滑轨导向方向运动，所述钢带驱动机构与机械手的中间部位相连接驱动所述机械手运动，所述传感器装置设置在所述腔体的侧面靠近端部的位置，精确控制所述机械手的行程及初始、终止位置。本专利技术的真空传送片装置中，优选为，所述滑轨导向装置，包括固定座、导杆、滑块，其中，所述固定座固定在腔体底部四个角的位置，所述导杆的两端分别固定在所述固定座上，形成固定且相互平行的两条导轨，两个所述滑块以可滑动的方式穿装在两根平行的所述导杆之上，所述机械手是固定在两个所述滑块上。本专利技术的真空传送片装置中，优选为，所述机械手的行程设计为小于导杆的有效长度与滑块的长度的差值，在导杆两端分别预留一定安全距离。本专利技术的真空传送片装置中，优选为，所述机械手的初始和终止位置与导杆两端分别有1～20mm的距离。本专利技术的真空传送片装置中，优选为，所述钢带驱动机构包括主动轮、钢带、连接块、被动轮和调节座，所述主动轮与腔体底部马达或电机连接，被动轮安装在调节座上，所述调节座固定于腔体底部，实现被动轮的调节，被动轮和主动轮之间采用钢带连接及传动，通过调节座将钢带拉紧实现传动，连接块与机械手连接，实现机械手的驱动。本专利技术的真空传送片装置中，优选为，所述机械手的行程设计为小于所述连接块运行到两端的距离与所述连接块的长度的差值，在钢带两端分别预留一定安全距离。本专利技术的真空传送片装置中，优选为，所述钢带两端的安全距离大于所述导杆两端的安全距离。本专利技术的真空传送片装置中，优选为，所述传感器装置包括发射器、安装座、压板、玻璃透镜和反光板，所述压板将玻璃透镜压紧固定在腔体的侧面，所述玻璃透镜与所述腔体间设置有密封圈，所述发射器固定在安装座上，所述安装座以位置可调的方式固定在腔体上，反射板安装在与所述发射器相对的腔体的另一侧内壁，用于反射所述发射器的信号。本专利技术的真空传送片装置中，优选为，所述传感器装置正常工作时，每个发射器都会发射激光并接收对面发光板返回的激光信号，如果有物体挡住了光线，使发射器接收不到返回信号，则该传感器装置将反馈一个停止信号。附图说明图1是本专利技术的真空传送片装置的整体结构图。图2是本专利技术的滑轨导向装置的结构图。图3是本专利技术的钢带驱动机构的结构图。图4是本专利技术的传感器装置的结构图。图5是本专利技术机械手缩回时传感器的工作示意图。图6是本专利技术机械手伸出时传感器的工作示意图。图中：1～腔体；2～滑轨导向装置；21～固定座；22～导杆；23～滑块；3～机械手；4～钢带驱动机构；41～主动轮；42～钢带；43～连接块；44～被动轮；45～调节座；5～传感器装置；51～发射器；52～安装座；53～压板；54～玻璃透镜；55～反光板；6～腔盖。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“垂直”“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在下文中描述了本专利技术的许多特定的细节，例如器件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术，以便更清楚地理解本专利技术。但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本专利技术。除非在下文中特别指出，器件中的各个部分可以由本领域的技术人员公知的材料构成，或者可以采用将来开发的具有类似功能的材料。图1是本专利技术的真空传送片装置的整体结构图。如图1所示，本专利技术的真空传送片装置，包括：腔体1、滑轨导向装置2、机械手3、钢带驱动机构4、传感器装置5和腔盖6，其中，腔体1和腔盖6之间采用铰链连接，形成可开启的密闭空间，能够实现真空环境。滑轨导向装置2与机械手3连接，使机械手3沿滑轨导向方向运动，钢带驱动机构4与机械手3的中间部位相连接驱动机械手3运动，传感器装置5设置在腔体1的侧面靠近端部的位置，精确控制所述机械手3的行程及初始、终止位置。图2是本专利技术的滑轨导向装置的结构图。如图2所示，滑轨导向装置2包括固定座21、导杆22和滑块23，其中，固定座21固定在腔体1底部四个角的位置，导杆22的两端分别固定在固定座21上，形成固定且相互平行的两条导轨，两个滑块23以可滑动的方式穿装在两根平行的导杆22之上，机械手3固定在两个滑块23上。机械手的行程设计为小于导杆22的有效长度与滑块23的长度的差值，在导杆22两端分别预留一定安全距离。具体而言，如图2所示，滑轨导向装置2中，滑块23的长度为a，两根导杆23的有效长度为L，则滑块23的有效行程即L-a，而机械手3的行程设计为p＜L-a。也就是说在实际应用中会将机械手的行程两端即机械手的初始和终止位置与导杆22两端分别预留一定的安全距离e1和e2，则P＝L-a-e1-e2。根据实际应用需要及硬性限位的需求，e1和e2分别可取1～20mm。图3是本专利技术的钢带驱动机构的结构图。如图3所示，钢带驱动机构4包括主动轮41、钢带42、连接块43、被动轮44和调节座45。主动轮41与腔体1底部的马达或电机连接，被动轮44安装在调节座45上，调节座45固定于腔体1底部，实现被动轮44的调节，被动轮44和主动轮41之间采用钢带42连接及传动，通过调节座45将钢带42拉紧实现传动，连接块43与机械手3连接，实现机械手3的驱动。机械手的行程设计为小于连接块43运行到两端的距离与连接块43的长度的差值，在钢带两端分别预留一定安全距离。具体而言，如图3所示，连接块43的长度为b，连接块运行到两端的距离为L2，则连接块的有效行程为L2-b，在钢带两端分别预留两本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空传送片装置，其特征在于，/n包括：腔体(1)、滑轨导向装置(2)、机械手(3)、钢带驱动机构(4)、传感器装置(5)和腔盖(6)，/n其中，所述腔体(1)和腔盖(6)之间采用铰链连接，形成可开启的密闭空间，所述滑轨导向装置(2)与所述机械手(3)连接，使机械手(3)沿滑轨导向方向运动，所述钢带驱动机构(4)与机械手(3)的中间部位相连接驱动所述机械手(3)运动，所述传感器装置(5)设置在所述腔体(1)的侧面靠近端部的位置，精确控制所述机械手(3)的行程及初始、终止位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空传送片装置，其特征在于，
包括：腔体(1)、滑轨导向装置(2)、机械手(3)、钢带驱动机构(4)、传感器装置(5)和腔盖(6)，
其中，所述腔体(1)和腔盖(6)之间采用铰链连接，形成可开启的密闭空间，所述滑轨导向装置(2)与所述机械手(3)连接，使机械手(3)沿滑轨导向方向运动，所述钢带驱动机构(4)与机械手(3)的中间部位相连接驱动所述机械手(3)运动，所述传感器装置(5)设置在所述腔体(1)的侧面靠近端部的位置，精确控制所述机械手(3)的行程及初始、终止位置。


2.根据权利要求1所述的真空传送片装置，其特征在于，
所述滑轨导向装置(2)包括固定座(21)、导杆(22)和滑块(23)，其中，所述固定座(21)固定在腔体(1)底部四个角的位置，所述导杆(22)的两端分别固定在所述固定座(21)上，形成固定且相互平行的两条导轨，两个所述滑块(23)以可滑动的方式穿装在两根平行的所述导杆(22)之上，所述机械手(3)固定在两个所述滑块(23)上。


3.根据权利要求1所述的真空传送片装置，其特征在于，
所述机械手的行程设计为小于导杆(22)的有效长度与滑块(23)的长度的差值，在导杆(22)两端分别预留一定安全距离。


4.根据权利要求3所述的真空传送片装置，其特征在于，
所述机械手的初始和终止位置与导杆(22)两端分别有1～20mm的安全距离。


5.根据权利要求1所述的真空传送片装置，其特征在于，
所述钢带驱动机构(4)包括主动轮(41)、钢带(42)、连接块(43)、被动轮(44)和调节座(45)，所述主动轮(41)与所述腔体(1)底部的马达或电机连接，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯永刚，胡冬冬，李娜，程实然，陈兆超，刘海洋，王铖熠，邱勇，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32