一种真空传送片装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种真空传送片装置，包括：腔体(1)、滑轨导向装置(2)、机械手(3)、钢带驱动机构(4)、传感器装置(5)和腔盖(6)，其中，所述腔体(1)和腔盖(6)之间采用铰链连接，形成可开启的密闭空间，所述滑轨导向装置(2)与所述机械手(3)连接，使机械手(3)沿滑轨导向方向运动，所述钢带驱动机构(4)与机械手(3)的中间部位相连接驱动所述机械手(3)运动，所述传感器装置(5)设置在所述腔体(1)的侧面靠近端部的位置，精确控制所述机械手(3)的行程及初始、终止位置。本发明专利技术能够实现机械手的运行的精确控制，并且可以调节其运行行程，适用于多种半导体设备的晶片取送。

【技术实现步骤摘要】
一种真空传送片装置
本专利技术涉及半导体
，具体涉及一种真空传送片装置。
技术介绍
随着科技飞速发展，半导体行业的重要性日见突出，半导体制造的自动化及要求也越来越高。半导体行业中很多设备都需要用到真空机械手传送晶片，但目前商品化、成品化的真空传片机械手非常少，而且此类真空传片机械手一般都是多用于多个设备集成的机台，成本也较高。针对单个机台使用的真空传片装置多为定制化，加工零件成本高昂，而且结构复杂，装配难度高，要求精度高，应用性能也缺乏可靠性。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术公开一种真空传送片装置，包括：腔体、滑轨导向装置、机械手、钢带驱动机构、传感器装置和腔盖，其中，所述腔体和腔盖之间采用铰链连接，形成可开启的密闭空间，所述滑轨导向装置与所述机械手连接，使机械手沿滑轨导向方向运动，所述钢带驱动机构与机械手的中间部位相连接驱动所述机械手运动，所述传感器装置设置在所述腔体的侧面靠近端部的位置，精确控制所述机械手的行程及初始、终止位置。本专利技术的真空传送片装置中，优选为，所述滑轨导向装置，包括固定座、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空传送片装置，其特征在于，/n包括：腔体(1)、滑轨导向装置(2)、机械手(3)、钢带驱动机构(4)、传感器装置(5)和腔盖(6)，/n其中，所述腔体(1)和腔盖(6)之间采用铰链连接，形成可开启的密闭空间，所述滑轨导向装置(2)与所述机械手(3)连接，使机械手(3)沿滑轨导向方向运动，所述钢带驱动机构(4)与机械手(3)的中间部位相连接驱动所述机械手(3)运动，所述传感器装置(5)设置在所述腔体(1)的侧面靠近端部的位置，精确控制所述机械手(3)的行程及初始、终止位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空传送片装置，其特征在于，
包括：腔体(1)、滑轨导向装置(2)、机械手(3)、钢带驱动机构(4)、传感器装置(5)和腔盖(6)，
其中，所述腔体(1)和腔盖(6)之间采用铰链连接，形成可开启的密闭空间，所述滑轨导向装置(2)与所述机械手(3)连接，使机械手(3)沿滑轨导向方向运动，所述钢带驱动机构(4)与机械手(3)的中间部位相连接驱动所述机械手(3)运动，所述传感器装置(5)设置在所述腔体(1)的侧面靠近端部的位置，精确控制所述机械手(3)的行程及初始、终止位置。


2.根据权利要求1所述的真空传送片装置，其特征在于，
所述滑轨导向装置(2)包括固定座(21)、导杆(22)和滑块(23)，其中，所述固定座(21)固定在腔体(1)底部四个角的位置，所述导杆(22)的两端分别固定在所述固定座(21)上，形成固定且相互平行的两条导轨，两个所述滑块(23)以可滑动的方式穿装在两根平行的所述导杆(22)之上，所述机械手(3)固定在两个所述滑块(23)上。


3.根据权利要求1所述的真空传送片装置，其特征在于，
所述机械手的行程设计为小于导杆(22)的有效长度与滑块(23)的长度的差值，在导杆(22)两端分别预留一定安全距离。


4.根据权利要求3所述的真空传送片装置，其特征在于，
所述机械手的初始和终止位置与导杆(22)两端分别有1～20mm的安全距离。


5.根据权利要求1所述的真空传送片装置，其特征在于，
所述钢带驱动机构(4)包括主动轮(41)、钢带(42)、连接块(43)、被动轮(44)和调节座(45)，所述主动轮(41)与所述腔体(1)底部的马达或电机连接，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯永刚，胡冬冬，李娜，程实然，陈兆超，刘海洋，王铖熠，邱勇，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32