电子束照射装置制造方法及图纸

技术问题：提供一种对水中的对象物也能够照射电子束的电子束照射装置。解决方案：加速管(11)具有：设置为使在电子枪(12)中生成的电子束加速的加速空间(21)、以及设置为能够使在加速空间(21)中加速的电子束向外部照射的照射口(22)。氢气供给单元(13)设置为能够向加速空间(21)供给规定的压力的氢气(32)。电子束照射装置构成为，使从氢气供给单元(13)向加速空间(21)供给的氢气(32)从照射口(22)放出，并且使从照射口(22)照射的电子束在从照射口(22)放出的氢气(32)中通过。

【技术实现步骤摘要】
电子束照射装置
本专利技术涉及一种电子束照射装置。
技术介绍
当前，一般的电子束照射装置具有：生成电子束的电子枪等电子射线源、以及用于使所生成的电子束加速的加速管(例如参照专利文献1)。另外，为了用于干法蚀刻等而开发了一种使用电子束生成等离子体的装置(例如参照非专利文献1或者非专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1：2005-331418号公报非专利文献非专利文献1：原民夫，《利用电子束生成等离子体》，等离子体/核聚变学会杂志，1993年6月，第69卷，第6号，p.647-655；非专利文献2：原民夫，《电子束激励等离子蚀刻装置的开发》，理研新闻，July1992，No.132，p.1-5。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题由于电子束(电子射线)基本上不能透射水，因此专利文献1、非专利文献1和2的现有电子束照射装置存在的技术问题是：不能向水中的对象物照射电子束。本专利技术着眼于这样的技术问题而完成，其目的在于，提供一种对水中的对象物也能够照射电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子束照射装置，其特征在于，具有：/n电子枪，其生成电子束；/n加速管，其具有：设置为使在所述电子枪中生成的所述电子束加速的加速空间、以及设置为能够使在所述加速空间中加速的所述电子束向外部照射的照射口；以及/n氢气供给单元，其设置为能够向所述加速空间供给规定的压力的氢气，/n所述电子束照射装置构成为，使从所述氢气供给单元向所述加速空间供给的所述氢气从所述照射口放出，并且使从所述照射口照射的所述电子束在从所述照射口放出的所述氢气中通过。/n

【技术特征摘要】
20181226 JP 2018-2420521.一种电子束照射装置，其特征在于，具有：
电子枪，其生成电子束；
加速管，其具有：设置为使在所述电子枪中生成的所述电子束加速的加速空间、以及设置为能够使在所述加速空间中加速的所述电子束向外部照射的照射口；以及
氢气供给单元，其设置为能够向所述加速空间供给规定的压力的氢气，
所述电子束照射装置构成为，使从所述氢气供给单元向所述加速空间供给的所述氢气从所述照射口放出，并且使从所述照射口照射的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：安力川诚，
申请(专利权)人：株式会社选良，
类型：发明
国别省市：日本;JP