波束扫描设备以及包括波束扫描设备的系统技术方案

提供了一种波束扫描设备和包括波束扫描设备的系统。波束扫描设备包括：空间光调制器，被配置为针对多个像素中的对应像素调制光的相位；以及相位掩模，包括被布置在从空间光调制器输出的光的输出方向上的支撑板和针对多个像素中的每个像素不同地布置在支撑板上以控制光的相位的多个纳米结构。

【技术实现步骤摘要】
波束扫描设备以及包括波束扫描设备的系统相关申请的相交引用本申请要求于2018年12月11日在韩国知识产权局提出的韩国专利申请No.10-2018-0159116的优先权，该申请的公开内容通过引用全部并入本文中。
本公开的示例实施例涉及一种能够扩展光束的扫描区域的波束扫描设备以及包括该波束扫描设备的系统。
技术介绍
具有各种功能的高级驾驶辅助系统(ADAS)已经商业化。例如，具有诸如自适应巡航控制(ACC)或自主紧急制动系统(AEB)等功能的车辆日益增加，该自适应巡航控制(ACC)用于识别另一车辆的位置和速度、当存在与其他车辆碰撞的风险时降低车辆的速度、以及当没有与其他车辆碰撞的风险时在设定的速度范围内驾驶车辆，该自主紧急制动系统(AEB)用于识别前方车辆以及当尽管存在与前车碰撞的风险但驾驶员没有对其作出响应或不正确地响应时，通过自动制动车辆来防止与前方车辆发生碰撞。此外，预期自主车辆将在不久的将来实现商业化。因此，对能够提供车辆周围信息的光学测量设备的关注日益增加。例如，车辆光检测和测距(LiDAR)传感器可以将激光辐射本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种波束扫描设备，包括：/n空间光调制器，被配置为针对多个像素中的对应像素调制光的相位；以及/n相位掩模，包括被布置在从所述空间光调制器输出的光的输出方向上的支撑板和针对所述多个像素中的每个像素不同地布置在所述支撑板上以控制光的相位的多个纳米结构。/n

【技术特征摘要】
20181211 KR 10-2018-01591161.一种波束扫描设备，包括：
空间光调制器，被配置为针对多个像素中的对应像素调制光的相位；以及
相位掩模，包括被布置在从所述空间光调制器输出的光的输出方向上的支撑板和针对所述多个像素中的每个像素不同地布置在所述支撑板上以控制光的相位的多个纳米结构。


2.根据权利要求1所述的波束扫描设备，其中，所述空间光调制器包括第一反射器、第二反射器和设置在所述第一反射器和所述第二反射器之间的腔部。


3.根据权利要求2所述的波束扫描设备，其中，所述第一反射器
和所述第二反射器中的每个反射器包括分布式布拉格反射器或光栅反射器。


4.根据权利要求1所述的波束扫描设备，其中，所述空间光调制器针对所述多个像素中的每个像素通过对电压、电流、热和磁场中的至少一个的输入独立地被驱动。


5.根据权利要求1所述的波束扫描设备，其中，所述支撑板包括透明板。


6.根据权利要求1所述的波束扫描设备，其中，所述多个纳米结构包括具有约1.9至约4的折射率的电介质。


7.根据权利要求1所述的波束扫描设备，其中，所述多个纳米结构包括从由Si、Ge、SiGe、GaAs、Si3N4、TiO2、GaP和InSb构成的组中选择的至少一种。


8.根据权利要求1所述的波束扫描设备，其中，所述多个纳米结构具有柱形状。


9.根据权利要求1所述的波束扫描设备，其中，所述相位掩模的所述多个纳米结构具有圆柱形状、多边形柱形状和十字柱形状中的至少一种。


10.根据权利要求1所述的波束扫描设备，其中，所述多个纳米结构被配置为针对所述多个像素中的每个像素在纳米结构尺寸、纳米结构的数量、纳米结构形状和纳米结构的布置间隔中的至少一个方面不同地配置。


11.根据权利要求1所述的波束扫描设备，其中，所述多个纳米结构的布置间隔在λ/2n至5λ/2n的范围内，其中所述波束扫描设备中使用的光的波长为λ并且纳米结构的折射率为n。


12.根据权利要求1所述的波束扫描设备，其中，所述多个纳米结构的高度在3λ/2n至7λ/2n的范围内，其中入射在所述波束扫描设备上的光的波长为λ并且纳米结构的折射率为n。


13.根据权利要求1所述的波束扫描设备，还包括：在所述空间光调制器与所述相位掩模之间设置的间隔部。


14.一种系统，包括：
光源，被配置为辐射光；
波束扫描设备，被配置为通...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴晶铉，金善日，李斗铉，郑秉吉，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR