基板工艺的微波干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种基板工艺的微波干燥装置，包括一微波腔体、贯穿该微波腔体的一输送平台、以及设置在该微波腔体中的至少一微波产生器与至少一排气组，借该输送平台将待干燥的基板送入并移出该微波腔体。该微波产生器所发出的微波能直接针对该基板上的液体中的水分子进行加热，以无死角地令蓄积在该基板的穿孔或盲孔中的液体升温并蒸散，再利用该至少一排气组来抽取并排出从该基板蒸散的湿气，从而达到干燥该基板的目的。再者，因为微波只会对液体进行加热，不会将能量用于使该基板升温，故干燥的效率高，可有效节约电力、节省该基板的加工成本。

【技术实现步骤摘要】
基板工艺的微波干燥装置
本专利技术涉及一种干燥装置，尤指一种在基板加工工艺中，用来除去基板上的液体的微波干燥装置。
技术介绍
基板在以化学药液进行蚀刻而于其上呈现出铜箔的线路后，接着必须利用挥发性液体(例如：异丙醇)或非挥发性液体(例如：纯水)来洗净基板上的化学药液，再将洗净后的基板进行干燥，以便进行下一步的加工。其中一种现有技术的对基板进行干燥的干燥装置，是在一用以输送基板的输送平台的上方装设多个喷气管，或同时在该输送平台的上方及下方装设多个喷气管，该些喷气管经由管路连接一鼓风机，利用该鼓风机所提供的高温、高压气体对该待干燥的基板进行吹气，而从该喷气管吹出的高温、高压气体除了可以直接吹除该基板上的液体之外，还可让该液体升温后进一步蒸发。然而，随着电子产业的蓬勃发展，各式电子装置除了功能愈趋多样化与复杂化之外，外型亦皆朝轻、薄、短、小的方向发展，该些电子装置中的基板亦相应地朝小型化、薄型化演进，该基板上的电路不断细微化，该基板上供各式电子元件插接的穿孔及盲孔的孔径也越来越小。如此一来，该从喷气管吹出的高压气体难以进入该小孔径的穿本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板工艺的微波干燥装置，其特征在于，其包括一微波腔体、一输送平台与至少一微波产生器，其中：/n该微波腔体利用能屏蔽微波的金属材质所制作而成，该微波腔体的内部形成一微波作用腔，该微波腔体的一前端处形成有一前开口，该微波腔体的一后端处形成有一后开口；/n该输送平台贯穿该微波腔体的该前开口与该后开口，且具有一输送方向；/n该至少一微波产生器设于该微波腔体的该微波作用腔内，并能发射微波。/n

【技术特征摘要】
1.一种基板工艺的微波干燥装置，其特征在于，其包括一微波腔体、一输送平台与至少一微波产生器，其中：
该微波腔体利用能屏蔽微波的金属材质所制作而成，该微波腔体的内部形成一微波作用腔，该微波腔体的一前端处形成有一前开口，该微波腔体的一后端处形成有一后开口；
该输送平台贯穿该微波腔体的该前开口与该后开口，且具有一输送方向；
该至少一微波产生器设于该微波腔体的该微波作用腔内，并能发射微波。


2.根据权利要求1所述的基板工艺的微波干燥装置，其特征在于，其进一步包括至少一排气组，该至少一排气组设于该微波腔体的该微波作用腔内，每一该排气组配置在该输送平台的一旁侧且包含至少一抽气件，每一该抽气件具有朝向该输送平台的一进气口。


3.根据权利要求2所述的基板工艺的微波干燥装置，其特征在于，所述每一该排气组的该至少一抽气件包含了多个抽气件，该抽气件沿该输送平台的该输送方向间隔排列设置。


4.根据权利要求2所述的基板工艺的微...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏胜義，乔鸿培，吕理榕，巫坤星，
申请(专利权)人：扬博科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71