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本发明公开一种基板工艺的微波干燥装置，包括一微波腔体、贯穿该微波腔体的一输送平台、以及设置在该微波腔体中的至少一微波产生器与至少一排气组，借该输送平台将待干燥的基板送入并移出该微波腔体。该微波产生器所发出的微波能直接针对该基板上的液体中的水...
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