蒸发源、蒸发源系统技术方案

本发明专利技术提供一种蒸发源、蒸发源系统，属于材料蒸镀技术领域，其可解决现有的蒸发源在长时间使用后容易出现所形成的膜层膜厚不均一的问题。本发明专利技术的蒸发源，用于蒸镀材料的蒸镀，包括：坩埚体，用于容置蒸镀材料；喷嘴，设置在所述坩埚体上，用于喷发所述蒸镀材料；角度板，设置在所述坩埚体上，且所述角度板在垂直于坩埚体的方向上的高度大于喷嘴在垂直于坩埚体的方向上的高度；所述角度板用于限制所述喷嘴的喷射范围；所述角度板靠近所述喷嘴的一侧具有容纳部，用于容纳部分蒸镀材料，以避免所述蒸镀材料影响所述喷射范围。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源、蒸发源系统
本专利技术属于材料蒸镀
，具体涉及一种蒸发源、蒸发源系统。
技术介绍
有机电致发光器件(OrganicLight-EmittingDiode；OLED)由于同时具备自发光，不需背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于柔性显示面板、使用温度范围广、构造及制作过程较简单等优异的特性，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。OLED器件的制备过程中，需要用到蒸镀工艺。现有技术中，蒸镀时间在140小时到200小时之间，在长时间的蒸镀过程中，会出现膜厚均一性随着时间变化的情况，特别对于一些膜层厚度比较厚的有机膜层，其膜厚均一性会有较大的变化，而膜层膜厚均一性逐渐变化会导致器件效率、色坐标范围、以及产品寿命出现异常，严重影响OLED显示面板的量产生产和产品品质。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种能够有效提升蒸镀成膜的膜厚均一性的蒸发源。解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是一种蒸发源，用于蒸镀材料的蒸镀，包括：坩埚体，用于容置蒸镀材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源，用于蒸镀材料的蒸镀，其特征在于，包括：/n坩埚体，用于容置蒸镀材料；/n喷嘴，设置在所述坩埚体上，用于喷发所述蒸镀材料；/n角度板，设置在所述坩埚体上，且所述角度板在垂直于坩埚体的方向上的高度大于喷嘴在垂直于坩埚体的方向上的高度；所述角度板用于限制所述喷嘴的喷射范围；所述角度板靠近所述喷嘴的一面具有容纳部，用于容纳部分蒸镀材料，以避免所述蒸镀材料影响所述喷射范围。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源，用于蒸镀材料的蒸镀，其特征在于，包括：
坩埚体，用于容置蒸镀材料；
喷嘴，设置在所述坩埚体上，用于喷发所述蒸镀材料；
角度板，设置在所述坩埚体上，且所述角度板在垂直于坩埚体的方向上的高度大于喷嘴在垂直于坩埚体的方向上的高度；所述角度板用于限制所述喷嘴的喷射范围；所述角度板靠近所述喷嘴的一面具有容纳部，用于容纳部分蒸镀材料，以避免所述蒸镀材料影响所述喷射范围。


2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述角度板包括：第一子角度板和第二子角度板；
所述第一子角度板相对所述第二子角度板更靠近所述坩埚体；
所述第二子角度板靠近所述喷嘴的一面与所述第一子角度板靠近所述喷嘴的一面之间具有第一角度，以共同限定出所述容纳部。


3.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述第二子角度板相对所述第一子角度板，朝向对应喷嘴的方向倾斜，以与所述第一子角度板共同限定出所述容纳部。


4.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述第一子角度板与所述第二子角度板为一体结构。


5.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述坩埚体的数量为多个；
部分所述坩...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡海兵，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11