下载蒸发源、蒸发源系统的技术资料

文档序号:24793280

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本发明提供一种蒸发源、蒸发源系统,属于材料蒸镀技术领域,其可解决现有的蒸发源在长时间使用后容易出现所形成的膜层膜厚不均一的问题。本发明的蒸发源,用于蒸镀材料的蒸镀,包括:坩埚体,用于容置蒸镀材料;喷嘴,设置在所述坩埚体上,用于喷发所述蒸镀材...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司授权不得商用。

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