一种探测器小型永久高真空腔体及制备方法技术

一种探测器小型永久高真空腔体及制备方法，涉及一种光电成像探测器真空制冷封装领域，解决现有真空系统体积庞大，结构复杂，操作繁琐，不适用于移动设备使用，且由于采用真空泵和阀门管道保证腔体的真空度存在干扰腔体的真空度等问题，包括真空腔体外壳、真空腔体背板、玻璃窗口和探测器；所述探测器置于真空腔体内，玻璃窗口与真空腔体外壳通过有机硅树脂粘接密封，真空腔体外壳和真空腔体背板通过金属密封和有机硅树脂粘接密封组合的方式密封。本发明专利技术的真空腔体结构简单，使用可靠的密封方式和真空获取手段，省去真空管路和真空泵的使用，在大型真空罐中借助预紧机构一次性完成高真空的获取和密封，且能够实现探测器小型高真空腔体的永久密封。

A miniature permanent high vacuum chamber for detector and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
一种探测器小型永久高真空腔体及制备方法
本专利技术涉及一种光电成像探测器真空制冷封装领域，具体涉及一种探测器小型永久高真空腔体及制备方法。
技术介绍
真空技术在众多工业领域广泛应用，真空环境的获得、保持和测量一直工业届研究的热点。根据真空度的不同，真空分为低真空(105～102Pa)、中真空(102～10-1)、高真空(10-1～10-6Pa)和超高真空(＜10-6)，本专利技术的针对高真空应用。真空环境的获得一般是通过真空泵排出腔体中的气体实现，根据真空度的不同选择使用一级或者多级真空泵；真空环境的保持跟腔体的密封好坏直接相关，腔体内部的排气也会直接影响真空度的高低。所以一般情况下，真空腔体都是预留抽真空接口和真空泵，以保证腔体的真空度。真空环境在光学系统成像领域应用广泛，主要在探测器的成像方面。探测器是将光子转换为电子的器件的，为了减少热游离电子形成的暗电流的干扰，需要将探测器制冷到合适温度。真空环境能够为探测器提供良好的工作环境，防止探测器的结霜结露，提高制冷效率，保证光电转换过程的顺利进行。但是探测器的真空腔体较小，无法配备真空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探测器小型永久高真空腔体，包括真空腔体外壳(2)、真空腔体背板(3)、玻璃窗口(1)和探测器(10)；所述探测器(10)置于真空腔体内，玻璃窗口(1)与真空腔体外壳(2)通过有机硅树脂粘接密封，真空腔体外壳(2)和真空腔体背板(3)通过金属密封和有机硅树脂粘接密封组合的方式密封。/n

【技术特征摘要】
1.一种探测器小型永久高真空腔体，包括真空腔体外壳(2)、真空腔体背板(3)、玻璃窗口(1)和探测器(10)；所述探测器(10)置于真空腔体内，玻璃窗口(1)与真空腔体外壳(2)通过有机硅树脂粘接密封，真空腔体外壳(2)和真空腔体背板(3)通过金属密封和有机硅树脂粘接密封组合的方式密封。


2.根据权利要求1所述的一种探测器小型永久高真空腔体，其特征在于：所述真空腔体外壳(2)的材料为不锈钢，真空腔体背板(3)的材料为无氧紫铜。


3.根据权利要求1所述的一种探测器小型永久高真空腔体，其特征在于：所述金属密封的方式为不锈钢真空腔体外壳在接触面加工锋利的刀口，有机硅树脂粘接密封完成后，采用锁紧螺栓(4)压紧真空腔体外壳(2)和真空腔体背板(3)使不锈钢刀口切入真空腔体背板(3)内实现金属密封。


4.根据权利要求1所述的一种探测器小型永久高真空腔体的制备方法，其特征是，包括制备装置，所述制备装置包括预紧电机(7)、丝杠螺母压块(8)、基座(9)、压块导向杆(11)、预紧弹簧(12)、电机安装板(13)和真空罐(14)；
所述预紧电机(7)通过螺栓固定在电机安装板(13)上，所述压块导向杆(11)的两端均通过螺栓连接在基座(9)和电机安装板(13)上，形成框架结构；
所述丝杠螺母压块(8)与预紧电机(7)之间采用丝杠螺母连接，丝杠螺母压块(8)和真空腔体背板(3)以及压块导向杆(11)之间为间隙轴孔配合，形成滑动连接；
丝杠螺母压块(8)和真空腔体背板(3)通过预紧弹簧(12)连接；预紧弹簧(12)和压块导向杆(11)之间为间隙轴孔配合...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建立，陈涛，刘昌华，曹景太，李洪文，刘洋，张恒，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22