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一种探测器小型永久高真空腔体及制备方法,涉及一种光电成像探测器真空制冷封装领域,解决现有真空系统体积庞大,结构复杂,操作繁琐,不适用于移动设备使用,且由于采用真空泵和阀门管道保证腔体的真空度存在干扰腔体的真空度等问题,包括真空腔体外壳、真空...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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