共蒸发设备和温度监控方法技术

本发明专利技术提供一种共蒸发设备和温度监控方法，其中共蒸发设备包括：加热腔室，加热腔室内设置有用于承载基板的传输装置，加热腔室内间隔设置有至少两个用于对基板加热的加热器；温度检测组件包括沿第一方向排布的至少两个温度传感器和沿第二方向排布的至少两个温度传感器，各温度传感器的工作区均朝向基板，温度传感器用于采集基板表面的温度数据；处理器，处理器与各温度传感器和各加热器均通信连接，处理器用于根据各温度传感器采集的温度数据，调整加热器的加热温度，对基板表面进行温度补偿。无需在基板上高温粘贴热电偶即可实现温度检测，避免了粘贴热电偶造成基板破碎的技术问题，提高了温度监控的准确性和便捷性。

Co evaporation equipment and temperature monitoring method

【技术实现步骤摘要】
共蒸发设备和温度监控方法
本专利技术涉及加工
，尤其涉及一种共蒸发设备和温度监控方法。
技术介绍
现有技术中，例如铜铟镓硒共蒸发设备中，基本位于加热腔室内时，需要通过数据定点记录(DataLogger)的温度检测工艺检测加热腔室内不同位点的温度均匀性。将一块镀钼玻璃基板承载在传输装置上，在基板上的不同位置粘有热电偶，按工艺条件经过一遍生产流程，记录期间的温度结果，从而用来分析腔室内的温度均匀性。热电偶需要高温胶粘，玻璃基板容易受高温破碎。可见，现有的共蒸发设备方案存在容易造成基板破碎的技术问题。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种共蒸发设备和温度监控方法，以解决现有共蒸发设备存在容易造成基板破碎的技术问题。为了达到上述目的，本专利技术实施例提供的具体方案如下：第一方面，本专利技术实施例提供了一种共蒸发设备，用于对基板进行共蒸发处理，所述共蒸发设备包括：加热腔室，所述加热腔室内设置有用于承载所述基板的传输装置，所述加热腔室内间隔设置有至少两个用于对所述基板加热的加热器；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种共蒸发设备，其特征在于，用于对基板进行共蒸发处理，所述共蒸发设备包括：/n加热腔室，所述加热腔室内设置有用于承载所述基板的传输装置，所述加热腔室内间隔设置有至少两个用于对所述基板加热的加热器；/n温度检测组件，包括沿第一方向排布的至少两个温度传感器和沿第二方向排布的至少两个温度传感器，所述温度传感器用于采集所述基板表面的温度数据；/n处理器，所述处理器与各所述温度传感器和各所述加热器均通信连接，所述处理器用于根据各所述温度传感器采集的温度数据，调整所述加热器的加热温度。/n

【技术特征摘要】
1.一种共蒸发设备，其特征在于，用于对基板进行共蒸发处理，所述共蒸发设备包括：
加热腔室，所述加热腔室内设置有用于承载所述基板的传输装置，所述加热腔室内间隔设置有至少两个用于对所述基板加热的加热器；
温度检测组件，包括沿第一方向排布的至少两个温度传感器和沿第二方向排布的至少两个温度传感器，所述温度传感器用于采集所述基板表面的温度数据；
处理器，所述处理器与各所述温度传感器和各所述加热器均通信连接，所述处理器用于根据各所述温度传感器采集的温度数据，调整所述加热器的加热温度。


2.根据权利要求1所述的共蒸发设备，其特征在于，各所述温度传感器均为非接触式温度传感器。


3.根据权利要求2所述的共蒸发设备，其特征在于，所述温度传感器设置于所述加热腔室的顶壁上。


4.根据权利要求3所述的共蒸发设备，其特征在于，所述顶壁开设有通孔，所述温度传感器设置于所述通孔；
所述温度传感器和所述加热腔室之间设置有盖板，所述盖板用于盖合所述通孔。


5.根据权利要求4所述的共蒸发设备，其特征在于，所述温度传感器设置于所述加热腔室的顶壁内侧；
所述温度传感器与所述加热腔室的顶壁外侧接触的区域设置有密封件。


6.根据权利要求3所述的共蒸发设备，其特征在于，所述温度传感器铰接...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨春晓，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11