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本发明提供一种共蒸发设备和温度监控方法，其中共蒸发设备包括：加热腔室，加热腔室内设置有用于承载基板的传输装置，加热腔室内间隔设置有至少两个用于对基板加热的加热器；温度检测组件包括沿第一方向排布的至少两个温度传感器和沿第二方向排布的至少两个温...
该专利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京铂阳顶荣光伏科技有限公司授权不得商用。

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