基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法技术

本发明专利技术属于原子层沉积技术领域，具体涉及一种基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法。本发明专利技术通过将银粉置于离心流化微纳米颗粒原子层沉积设备中，在适当的反应温度、压力及转速条件下，通过原子层沉积反应在银粉表面进行厚度均匀一致的纳米级致密氧化物薄膜包覆。本发明专利技术利用原子层沉积技术在光伏正面导电银浆银粉表面包覆纳米级厚度可控致密氧化物薄膜，对银粉进行表面改性改善其表面粗糙度，制备表面光滑的球形银粉，提升其在导电银浆中的分散稳定性，从而减少了银粉颗粒表面的孔隙，提升银粉在有机溶剂中的浸润性，进而提升由其制备的导电银浆的印刷性能，获得更高的光电转换效率。

Surface modification of silver powder for photovoltaic front conductive silver paste based on atomic layer deposition

【技术实现步骤摘要】
基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法
本专利技术属于原子层沉积
，具体涉及一种基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法。
技术介绍
银粉因具有良好的导电性在光伏银浆中大量使用，光伏银浆由导电相、粘结相和有机载体3部分组成，其中导电相是光伏银浆的功能相，即银粉。导电银浆中的银粉，在有机载体中的分散程度，对导电银浆的印刷质量及生产工艺的适应性有很大影响。专利CN104400000A介绍了一种球形银粉的制备方法，用硫酸铵溶液调节加有分散剂的硝酸银溶液pH，然后将配制好的抗坏血酸溶液加到硝酸银溶液中，搅拌，洗涤，过滤，烘干，打粉。这种方法制备的银粉优点球形度较好，粒度分布集中，振实密度较高，但是分散性差，且和有机溶剂的互溶性差，制备银浆存在分层，印刷不均匀的问题。大量研究表明，当前使用的球形银粉，外观是向各方向伸展的树枝状颗粒硬团聚体，表面粗糙。颗粒孔隙处仍存在气体与有机溶剂争夺的表面，其表面对有机溶剂浸润性较差，使得整个银浆体系处于不均匀状态，高含量的银浆，颗粒团聚体容易互相嵌合，增大流动阻力，导致印刷性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法，其特征在于，包括以下步骤：/n（1）烘干：将银粉置于温度为50-100℃的烘箱里持续烘0.5-5h；/n（2）前驱体脉冲调节：将前驱体A和前驱体B脉冲调节为20-50Pa，载气流量为100-200sccm；/n（3）腔体温度、压力调试：将步骤（1）中烘干后的银粉置于微纳米颗粒原子层沉积设备中，对反应腔进行加热，同时打开真空泵对腔体进行抽真空，设定腔体温度为120-150℃，腔体压力为50-100Pa，夹持器转速为30-200rpm；/n（4）原子层沉积反应：待温度、压力及夹持器转速达到步骤（3）的设定数值后，进行沉积氧化物的包覆，包覆...

【技术特征摘要】
1.一种基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）烘干：将银粉置于温度为50-100℃的烘箱里持续烘0.5-5h；
（2）前驱体脉冲调节：将前驱体A和前驱体B脉冲调节为20-50Pa，载气流量为100-200sccm；
（3）腔体温度、压力调试：将步骤（1）中烘干后的银粉置于微纳米颗粒原子层沉积设备中，对反应腔进行加热，同时打开真空泵对腔体进行抽真空，设定腔体温度为120-150℃，腔体压力为50-100Pa，夹持器转速为30-200rpm；
（4）原子层沉积反应：待温度、压力及夹持器转速达到步骤（3）的设定数值后，进行沉积氧化物的包覆，包覆完成后通入载气进行清洗，除去银粉表面未参与反应的前驱体及反应的副产物，即可得到改性后的银粉。


2.根据权利要求1所述的基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法，其特征在于，步骤（4）中所述原子层沉积反应过程具体如下：
（4.1）将前驱体A通入腔体，在银粉表面完成饱和化学吸附和原子层沉积第一半反应；
（4.2）通入载气将残余的前驱体A排出腔体；
（4.3）前驱体B进入反应腔在前驱体A的饱和吸附层表面继续进行前驱体B的饱和吸附和原子层沉积第二半反应；
（4.4）通入载气把多余的前驱体和反应生成的副产物排出腔体；
（4.5）重复步骤（4.1）-（4.4），直至完成银粉表面的致密氧化物层包覆。


3.根据权利要求1所述的基于原子层沉积的光伏正面导电...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈蓉，王同洋，刘潇，单斌，
申请(专利权)人：华中科技大学无锡研究院，
类型：发明
国别省市：江苏;32