一种使多个探针具有均匀弹性的垂直探针卡制造技术

本发明专利技术公开了一种使多个探针具有均匀弹性的垂直探针卡，包括第一支撑板、第二支撑板和第三支撑板，所述第二支撑板设置于第一支撑板与第三支撑板之间，所述第一支撑板底部与第三支撑板顶部分别开设有第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽与第二凹槽相匹配，所述第一支撑板与第三支撑板四角均开设有第一螺纹孔。本发明专利技术通过多组探针组件的组装及探针组件的结构配合，使探针具有三位弹性支撑结构，当在被测器件上施加所需压力时，力传递到探针头，在探针组件与移动块配合下，第一弯曲部和第二弯曲部的收缩支撑作用提供均匀的弹性，探针突出部控制局部不必要的应力，防止探针偏离，使摩擦发生方向保持稳定，有效防止被测器件受损。

【技术实现步骤摘要】
一种使多个探针具有均匀弹性的垂直探针卡
本专利技术涉及垂直探针卡领域，具体涉及一种使多个探针具有均匀弹性的垂直探针卡。
技术介绍
通常，探针卡是用于与在被测器件的多个接触焊垫上进行测试的测试设备对应通道电性连接的有效工具。对被测器件的测试是指探测分拣出生产阶段出现不良或有缺陷的元件。因此，探针卡通常用于半导体、硅晶片的切割及芯片封装前，通过接触集成于半导体或硅晶片上的电子元件来进行电性测试。普通探针卡接触构成所述晶圆的各芯片实测对象的多个焊垫，以加载电信号。目前，随着半导体设备的设计变化，构成晶圆的芯片焊垫的数量增加至数千单位以上，而且被测器件内焊垫布置形式多样，因此当测试设备增加必要的压力时，需要有相应的装置确保多个探针在被测器件上保持恒定摩擦。尤其随着半导体电子元件的小型化和多元化，半导体元件的集成度越来越高，所以要求垂直探针卡结构上无缺陷，不易变形，且不会引起因探针之间分离而引起的开短路问题，制成具有均等长度和形状的精巧产品。但是以这种形状制成的接触探针易受外力作用和接触而磨损或损坏。因此，专利技术一种使多个探针具有均匀弹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种使多个探针具有均匀弹性的垂直探针卡，包括第一支撑板（3）、第二支撑板（4）和第三支撑板（5），其特征在于：所述第二支撑板（4）设置于第一支撑板（3）与第三支撑板（5）之间，所述第一支撑板（3）底部与第三支撑板（5）顶部分别开设有第一凹槽（1）和第二凹槽（2），所述第一凹槽（1）与第二凹槽（2）相匹配，所述第一支撑板（3）与第三支撑板（5）四角均开设有第一螺纹孔（6），所述第一螺纹孔（6）内设有第一螺丝，所述第一支撑板（3）与第三支撑板（5）通过第一螺丝固定连接，所述第一支撑板（3）表面开设有若干矩形阵列分布的第一插孔（8），所述第二支撑板（4）表面开设有若干矩形阵列分布的第二插孔（9）...

【技术特征摘要】
1.一种使多个探针具有均匀弹性的垂直探针卡，包括第一支撑板（3）、第二支撑板（4）和第三支撑板（5），其特征在于：所述第二支撑板（4）设置于第一支撑板（3）与第三支撑板（5）之间，所述第一支撑板（3）底部与第三支撑板（5）顶部分别开设有第一凹槽（1）和第二凹槽（2），所述第一凹槽（1）与第二凹槽（2）相匹配，所述第一支撑板（3）与第三支撑板（5）四角均开设有第一螺纹孔（6），所述第一螺纹孔（6）内设有第一螺丝，所述第一支撑板（3）与第三支撑板（5）通过第一螺丝固定连接，所述第一支撑板（3）表面开设有若干矩形阵列分布的第一插孔（8），所述第二支撑板（4）表面开设有若干矩形阵列分布的第二插孔（9），所述第三支撑板（5）表面开设有若干矩形阵列分布的第三插孔（10），所述第一插孔（8）、第二插孔（9）和第三插孔（10）之间插接有探针组件（11）；
所述探针组件（11）由上针体（111）、第一弯曲部（112）、探针中针体（113）、第二弯曲部（114）、下针体（115）和探针头（116）组成，且上针体（111）、第一弯曲部（112）、探针中针体（113）、第二弯曲部（114）、下针体（115）和探针头（116）自上而下依次固定连接，所述上针体（111）、探针中针体（113）和下针体（115）分别与第一插孔（8）、第二插孔（9）和第三插孔（10）插接，所述探针中针体（113）一侧设置有探针突出部（117）。


2.根据权利要求1所述的一种使多个探针具有均匀弹性的垂直探针卡，其特征在于：所述第一弯曲部（112）和第二弯曲部（114）的截面形状设置为弧形，且第一弯曲部（112）和第二弯曲部（114）呈中心对称分布。


3.根据权利要求1所述的一种使多个探针具有均匀弹性的垂直探针卡，其特征在于：所述第一支撑板（3）、第二支撑板（4）和第三支撑板（5）设置在同一竖...

【专利技术属性】
技术研发人员：严日东，
申请(专利权)人：沈阳圣仁电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21