【技术实现步骤摘要】
本技术涉及探针，具体为一种可微调探针压力的mems结构探针。
技术介绍
1、为了满足对于不同芯片的接触需求，mems结构探针需要能够保证以不同的压力与其进行配合。以往的mems结构探针的悬臂大多采用单一的悬臂结构，无法满足以一定梯度的压力差距与芯片进行接触。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供了一种可微调探针压力的mems结构探针，以并达到mems结构探针的悬臂以一定梯度的压力与芯片进行配合的效果。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可微调探针压力的mems结构探针，包括基座，所述基座通过针身连接有探针头，所述针身上设有若干处弯曲，所述针身内还开设有若干开口，相邻的所述开口间设有缺口槽。
3、优选的，所述基座的底面设有若干安装突起。
4、优选的，所述探针头安装在针身上侧。
5、优选的，所述基座与针身间通过弧形连接部连接。
6、优选的，所述弯曲处均设有与其配合的缺口槽。
7、优选的，所述开口的数量为4个，所述缺口槽的数量为3个。
8、优选的，三个所述缺口槽内均设有连接块；
9、或两个所述缺口槽内设有连接块；
10、或任一所述缺口槽内设有连接块。
11、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
12、通过在针身上设置若干处带有弧形开口的弯曲部，并在弧形开口间设置缺口槽，通过调整缺口槽内连接块的数量改变整个针体的压力及其弯曲性能，达到了按照需要
13、并通过改变连接块的设置数量与设置位置，精确调节探针的针压，以确保探针与芯片工作过程中的信号传导精确性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种可微调探针压力的MEMS结构探针，其特征在于：包括基座(1)，所述基座(1)通过针身(3)连接有探针头(4)，所述针身(3)上设有若干处弯曲(5)，所述针身(3)内还开设有若干开口(6)，相邻的所述开口(6)间设有缺口槽(7)。
2.根据权利要求1所述的可微调探针压力的MEMS结构探针，其特征在于：所述基座(1)的底面设有若干安装突起(2)。
3.根据权利要求1所述的可微调探针压力的MEMS结构探针，其特征在于：所述探针头(4)安装在针身(3)上侧。
4.根据权利要求1所述的可微调探针压力的MEMS结构探针，其特征在于：所述基座(1)与针身(3)间通过弧形连接部连接。
5.根据权利要求1所述的可微调探针压力的MEMS结构探针，其特征在于：所述弯曲(5)处均设有与其配合的缺口槽(7)。
6.根据权利要求1所述的可微调探针压力的MEMS结构探针，其特征在于：所述开口(6)的数量为4个，所述缺口槽(7)的数量为3个。
7.根据权利要求6所述的可微调探针压力的MEMS结构探针，其特征在于：三个所述缺口槽(7)
...【技术特征摘要】
1.一种可微调探针压力的mems结构探针，其特征在于：包括基座(1)，所述基座(1)通过针身(3)连接有探针头(4)，所述针身(3)上设有若干处弯曲(5)，所述针身(3)内还开设有若干开口(6)，相邻的所述开口(6)间设有缺口槽(7)。
2.根据权利要求1所述的可微调探针压力的mems结构探针，其特征在于：所述基座(1)的底面设有若干安装突起(2)。
3.根据权利要求1所述的可微调探针压力的mems结构探针，其特征在于：所述探针头(4)安装在针身(3)上侧。
4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：卞学礼，王向东，刘通，
申请(专利权)人：沈阳圣仁电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。