一种气液分离装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种气液分离装置，包括气液分离器、气动隔膜阀、手动隔膜阀、液位传感器、输入管路、供液管路、排废管路、排气管路和传感器支架；输入管路通过输入口与气液分离器相连通，供液管路通过供液出口与气液分离器相连通，排废管路通过排废出口与气液分离器相连通，手动隔膜阀固定于排废管路上，排气管路通过排气出口与气液分离器相连通，气动隔膜阀固定于排气管路上。本发明专利技术的气液分离装置能够有效降低维修更换的难度、提高了工作效率，并且提供了更好的稳定性和兼容性，降低了成本。

A gas liquid separation device

【技术实现步骤摘要】
一种气液分离装置
本专利技术涉及化学领域，特别涉及一种气液分离装置。
技术介绍
随着湿化学设备在LED、太阳能、MEMS、功率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域自动化程度的不断提高，原有的人工手动配液、补液逐渐由自动供液取代。在化学品自动供液系统的重要组成部分CDM柜中，传统的气液分离装置有以下不足：1、气液分离器底部未设置排废装置，在需要清洗或维修更换时，很难将气液分离器内的残留液体彻底排出，增加工作难度，降低工作效率；2、气液分离器上安装的液位传感器所用的支架，只设计有一个固定支脚，且只有一个传感器安装孔，实际使用中会在震动时因稳定性不足，影响液位传感器的准确性，导致误判；同时，因为只有一个安装孔，无法通用不同直径的液位传感器，缺乏兼容性。亟需一种可以降低工作难度、提高工作效率；提高工作稳定性；提高兼容性的气液分离装置来解决上述技术问题。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供了一种气液分离装置，本专利技术的气液分离装置能够有效降低维修更换的难度、提高了工作效率，并且提供了更好的稳定性和兼容性，降低了成本。本专利技术是通过如下技术方案解决上述技术问题的：本专利技术提供了一种气液分离装置，包括气液分离器、气动隔膜阀、手动隔膜阀、液位传感器、输入管路、供液管路、排废管路、排气管路和传感器支架；所述气液分离器的中上方设置有输入口，所述气液分离器的下方设置有排废出口，所述气液分离器的中上方设置有排气出口，所述气液分离器的顶部设置有供液出口，所述排气出口的位置高于所述输入口的位置；所述输入管路通过所述输入口与所述气液分离器相连通，所述供液管路通过所述供液出口与所述气液分离器相连通，所述排废管路通过所述排废出口与所述气液分离器相连通，所述手动隔膜阀固定于所述排废管路上，所述排气管路通过所述排气出口与所述气液分离器相连通，所述气动隔膜阀固定于所述排气管路上；所述传感器支架包括两个固定支脚和固定台面，所述固定支脚与所述固定台面相互垂直，所述固定支脚固定于所述固定台面的两侧，所述固定支脚和所述固定台面为一体结构；所述固定台面的中部开设有一个圆孔和一个槽孔，所述槽孔的宽度小于所述圆孔的直径，所述圆孔和所述槽孔相连通，所述固定支脚上开设有圆形孔，所述液位传感器固定于所述传感器支架上，所述液位传感器与所述气液分离器的内部相连通。本专利技术中，所述液位传感器是一种测量液位的压力传感器，将静压转换为电信号，再经过温度补偿和线性修正，转化成标准电信号，所述液位传感器的结构为本领域常规。本专利技术中，所述气液分离器用于实现气液分离，本专利技术的气液分离器的底部设置有排废出口，可以简单快捷地排出内部残留的液体，便于及时清洗、维修或更换气液分离器。本专利技术中，所述气动隔膜阀是一种特殊形式的截断阀，它的启闭件是一块用软质材料制成的隔膜，把阀体内腔与阀盖内腔及驱动部件隔开，通过隔膜把下部阀体内腔与上部阀盖内腔隔开，使位于隔膜上方的阀杆、阀瓣等零件不受介质腐蚀，省去了填料密封结构，且不会产生介质外漏，本专利技术所述的气动隔膜阀的结构为本领域常规。本专利技术中，所述手动隔膜阀是带尾阀、具有可消毒灭菌功能的新型阀门，具有开、关限位及状态显示功能，该阀门耐酸、耐碱、无外漏、不染菌、易消毒以及维护方便，本专利技术所述的手动隔膜阀的结构为本领域常规。本专利技术中，所述输入管路用于将需要进行气液分离的化学品输入到气液分离器中，所述输入管路为本领域常规。本专利技术中，所述供液管路用于将经过气液分离后的化学品输送到目标装置中，所述供液管路为本领域常规。本专利技术中，所述排废管路用于将内部残留的液体排出，所述排废管路为本领域常规。本专利技术中，所述排气管路用于将经过气液分离后的气体排出，并接入后续的部件，所述排气管路为本领域常规。本专利技术中，所述传感器支架用于固定液位传感器，所述传感器支架相比于现有的传感器支架而言，具有更好的稳定性，并且能够通过维持液位传感器的稳定来实现准确性；较佳地，所述圆孔的直径为28～30mm；较佳地，所述槽孔的宽度为18～20mm。本专利技术中，所述槽孔用于实现所述传感器支架的兼容性。本专利技术中，所述固定支脚用于维持液位传感器的稳定性，相比于传统的固定支架而言，本专利技术的固定支脚可以避免运行过程中的晃动，提高了液位传感器的检测精度。本实用进行的积极进步效果：本专利技术的气液分离装置能够有效降低维修更换的难度、提高了工作效率，并且提供了更好的稳定性和兼容性，降低了成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例的气液分离装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例的气液分离装置的传感器支架的结构示意图。附图标记说明：1、气液分离器；2、液位传感器；3、输入管路；31、输入口；4、排废管路；41、排废出口；5、供液管路；51、供液出口；6、排气管路；61、排气出口；7、气动隔膜阀；8、手动隔膜阀；21、固定支脚；22、固定台面；23、圆孔；24、槽孔；25、圆形孔。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本专利技术的技术方案，而不能以此来限制本专利技术的保护范围。如图1和图2所示，本实施例提供了一种气液分离装置，包括气液分离器1、气动隔膜阀7、手动隔膜阀8、液位传感器2、输入管路3、供液管路5、排废管路4、排气管路6和传感器支架；气液分离器1的中上方设置有输入口31，气液分离器1的下方设置有排废出口41，气液分离器1的中上方设置有排气出口61，气液分离器1的顶部设置有供液出口51，排气出口61的位置高于输入口31的位置；输入管路3通过输入口31与气液分离器1相连通，供液管路5通过供液出口51与气液分离器1相连通，排废管路4通过排废出口41与气液分离器1相连通，手动隔膜阀8固定于排废管路4上，排气管路6通过排气出口61与气液分离器1相连通，气动隔膜阀7固定于排气管路6上；传感器支架包括两个固定支脚21和固定台面22，固定支脚21与固定台面22相互垂直，固定支脚21固定于固定台面22的两侧，固定支脚21和固定台面22为一体结构；固定台面22的中部开设有一个圆孔3和一个槽孔24，槽孔24的宽度小于圆孔3的直径，圆孔3和槽孔24相连通，固定支脚21上开设有圆形孔25，液位传感器2固定于传感器支架上，液位传感器2与气液分离器1的内部相连通。本实施例中，液位传感器2是一种测量液位的压力传感器，将静压转换为电信号，再经过温度补偿和线性修正，转化成标准电信号。本实施例中，气液分离器1用于实现气液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气液分离装置，其特征在于，所述气液分离装置包括气液分离器、气动隔膜阀、手动隔膜阀、液位传感器、输入管路、供液管路、排废管路、排气管路和传感器支架；所述气液分离器的中上方设置有输入口，所述气液分离器的下方设置有排废出口，所述气液分离器的中上方设置有排气出口，所述气液分离器的顶部设置有供液出口，所述排气出口的位置高于所述输入口的位置；所述输入管路通过所述输入口与所述气液分离器相连通，所述供液管路通过所述供液出口与所述气液分离器相连通，所述排废管路通过所述排废出口与所述气液分离器相连通，所述手动隔膜阀固定于所述排废管路上，所述排气管路通过所述排气出口与所述气液分离器相连通，所述气动隔膜阀固定于所述排气管路上；所述传感器支架包括两个固定支脚和固定台面，所述固定支脚与所述固定台面相互垂直，所述固定支脚固定于所述固定台面的两侧，所述固定支脚和所述固定台面为一体结构；所述固定台面的中部开设有一个圆孔和一个槽孔，所述槽孔的宽度小于所述圆孔的直径，所述圆孔和所述槽孔相连通，所述固定支脚上开设有圆形孔，所述液位传感器固定于所述传感器支架上，所述液位传感器与所述气液分离器的内部相连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种气液分离装置，其特征在于，所述气液分离装置包括气液分离器、气动隔膜阀、手动隔膜阀、液位传感器、输入管路、供液管路、排废管路、排气管路和传感器支架；所述气液分离器的中上方设置有输入口，所述气液分离器的下方设置有排废出口，所述气液分离器的中上方设置有排气出口，所述气液分离器的顶部设置有供液出口，所述排气出口的位置高于所述输入口的位置；所述输入管路通过所述输入口与所述气液分离器相连通，所述供液管路通过所述供液出口与所述气液分离器相连通，所述排废管路通过所述排废出口与所述气液分离器相连通，所述手动隔膜阀固定于所述排废管路上，所述排气管路通过所述排气出口与所述气液分离器相连通，所述气动隔膜阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：周礼誉，
申请(专利权)人：上海兄弟微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31