一种电阻蒸发加热器结构制造技术

技术编号:24688567 阅读:74 留言:0更新日期:2020-06-27 09:23
本实用新型专利技术公开了一种电阻蒸发加热器结构,包括上盖,所述上盖的下端前部和后部均固定焊接有外层套板,且两个外层套板的下端共同焊接有下盖,所述下盖的上端中部固定连接有坩埚,所述下盖的上端设置有加热机构,所述外层套板的内壁上设置有保温机构,所述上盖的上端中部开设有放置孔,所述外层套板与下盖的下端四个角上均固定焊接有贴片接触板。本实用新型专利技术所述的一种电阻蒸发加热器结构,通过加热器外增加高温金属材质保温盒,全部由高温金属(钽、钼)薄板焊接/铆接制成,从而达到对温度的保存,减少热量的流失,增加热量的利用率,而内部的加热片均以坩埚围绕,从而来实现对坩埚的均匀加热的效果,使整个镀膜过程中简单稳定。

Structure of resistance evaporation heater

【技术实现步骤摘要】
一种电阻蒸发加热器结构
本技术涉及加热器领域,特别涉及一种电阻蒸发加热器结构。
技术介绍
电加热器是指利用电能达到加热效果的电器。它体积小,加热功率高,使用十分广泛,采用智能控制模式,控温精度高,可与计算机联网。应用范围广,寿命长,可靠性高。加热器原理的核心的是能量转换,最广泛的就是电能转换成热能。而目前随着科技的发展,加热器的种类也分为很多种,目前常用的电阻蒸发加热器由加热器(钽片或钼片)和坩埚(氮化硼或石英)组成,而加热器与坩埚贴合不均匀,导致热量分布不均匀,热量损失很大,利用率较低,而设备在使用过程中经常出现镀料严重飞溅、爬锅和坩埚炸裂现象。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种电阻蒸发加热器结构,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种电阻蒸发加热器结构,包括上盖,所述上盖的下端前部和后部均固定焊接有外层套板,且两个外层套板的下端共同焊接有下盖,所述下盖的上端中部固定连接有坩埚,所述下盖的上端设置有加热机构,所述外层套板的内壁上设置有保温机构,所述上盖的上端中部开设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电阻蒸发加热器结构,包括上盖(1),其特征在于:所述上盖(1)的下端前部和后部均固定焊接有外层套板(2),且两个外层套板(2)的下端共同焊接有下盖(9),所述下盖(9)的上端中部固定连接有坩埚(3),所述下盖(9)的上端设置有加热机构(7),所述外层套板(2)的内壁上设置有保温机构(4),所述上盖(1)的上端中部开设有放置孔(6),所述外层套板(2)与下盖(9)的下端四个角上均固定焊接有贴片接触板(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种电阻蒸发加热器结构,包括上盖(1),其特征在于:所述上盖(1)的下端前部和后部均固定焊接有外层套板(2),且两个外层套板(2)的下端共同焊接有下盖(9),所述下盖(9)的上端中部固定连接有坩埚(3),所述下盖(9)的上端设置有加热机构(7),所述外层套板(2)的内壁上设置有保温机构(4),所述上盖(1)的上端中部开设有放置孔(6),所述外层套板(2)与下盖(9)的下端四个角上均固定焊接有贴片接触板(8)。


2.根据权利要求1所述的一种电阻蒸发加热器结构,其特征在于:所述坩埚(3)的上端固定连接有护沿套(31),所述坩埚(3)的中心与放置孔(6)的中心重合,所述坩埚(3)与护沿套(31)的外形呈锥型机构。


3.根据权利要求1所述的一种电阻蒸发加热器结构,其特征在于:所述保温机构(4)主要结构有回形保温套(41),所述回形保温套前端内壁和后端内壁均焊接有陶瓷板(42),所述陶瓷板(42)的中心均开设有固定孔(43),所述固定孔(43)的内壁上固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员:姜寰
申请(专利权)人:沈阳中科汉达科技有限公司
类型:新型
国别省市:辽宁;21

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