【技术实现步骤摘要】
硅基液晶空间光调制器及其制作方法与波长选择开关
本专利技术涉及光电
,尤其涉及一种硅基液晶空间光调制器及其制作方法与波长选择开关。
技术介绍
硅基液晶(LiquidCrystalonSilicon,LCoS)技术已经开发了很多年,主要用于信息显示领域,由于其在空间上调制光束波长的独特能力,LCoS技术在超高清投影仪、增强现实及虚拟现实领域得到了广泛应用,与此同时,在近些年,LCoS器件还作为波长选择开关的调制芯片在电信网络领域得到了应用。现有的LCoS器件一般包括基于互补型金属氧化物半导体(CMOS)技术的硅基板、与硅基板相对的玻璃基板及夹在硅基板和玻璃基板之间液晶层,硅基板上设有数百万个可单独寻址的用于形成像素的反射电极,每个电极都能够在液晶层上施加控制电压来控制液晶层旋转,从而实现电控制液晶材料的双折射,使得LCoS器件能够根据液晶层的配置,以相位或振幅空间调制光束的波阵面。当液晶层使用均匀排列的向列液晶材料构成时,液晶分子将响应于像素两端的控制电压以不同角度倾斜,因此,其有效折射率会根据线性偏振光速而变化,其偏振方法平行于液晶对准方向,使得LCoS器件能够在空间上调制入射光速的相位,并保持其振幅不变,这种LCoS器件即为纯相位LCoS器件。波长选择开关是能够重新配置光网络的关键技术之一,典型的波长选择开关能够根据服务提供商的远程控制软件的配置,有选择地将进入其输入光纤端口的各个波分复用通道路由到任何光纤输出端口,纯相位LCoS空间光调制器由于其软件可升级以及可切换灵活频谱的特性而被 ...
【技术保护点】
1.一种硅基液晶空间光调制器,其特征在于,包括:第一基板(10)、与所述第一基板(10)相对间隔设置的第二基板(20)以及设于所述第一基板(10)与第二基板(20)之间的液晶层(30);/n所述第一基板(10)包括:第一衬底(11)、设于所述第一衬底(11)朝向第二基板(20)的一侧的第一电极(12)以及设于所述第一电极(12)及第一衬底(11)上的第一配向层(13);/n所述第二基板(20)包括:第二衬底(21)、设于所述第二衬底(21)朝向第一基板(10)一侧的第二电极(22)以及设于所述第二电极(22)及第二衬底(21)上的第二配向层(23);/n所述第一电极(12)包括第一柄部(311)及垂直连接所述第一柄部(311)的间隔排列的多个第一梳齿部(312);/n所述第二电极(22)包括第二柄部(321)及垂直连接所述第二柄部(321)的间隔排列的多个第二梳齿部(322);/n所述第二柄部(321)在所述第一基板(10)上的正投影与所述第一柄部(311)相对间隔设置,所述多个第二梳齿部(322)在所述第一基板(10)上的正投影与所述多个第一梳齿部(312)依次交替排列。/n
【技术特征摘要】
1.一种硅基液晶空间光调制器,其特征在于,包括:第一基板(10)、与所述第一基板(10)相对间隔设置的第二基板(20)以及设于所述第一基板(10)与第二基板(20)之间的液晶层(30);
所述第一基板(10)包括:第一衬底(11)、设于所述第一衬底(11)朝向第二基板(20)的一侧的第一电极(12)以及设于所述第一电极(12)及第一衬底(11)上的第一配向层(13);
所述第二基板(20)包括:第二衬底(21)、设于所述第二衬底(21)朝向第一基板(10)一侧的第二电极(22)以及设于所述第二电极(22)及第二衬底(21)上的第二配向层(23);
所述第一电极(12)包括第一柄部(311)及垂直连接所述第一柄部(311)的间隔排列的多个第一梳齿部(312);
所述第二电极(22)包括第二柄部(321)及垂直连接所述第二柄部(321)的间隔排列的多个第二梳齿部(322);
所述第二柄部(321)在所述第一基板(10)上的正投影与所述第一柄部(311)相对间隔设置,所述多个第二梳齿部(322)在所述第一基板(10)上的正投影与所述多个第一梳齿部(312)依次交替排列。
2.如权利要求1所述的硅基液晶空间光调制器,其特征在于,所述第一电极(12)包括层叠设置的第一膜层(121)、第二膜层(122)及第三膜层(123);其中,第一膜层(121)及第二膜层(122)均为金属材料,第三膜层(123)为金属或透明导电材料;所述第二电极(22)的材料为透明导电材料。
3.如权利要求1所述的硅基液晶空间光调制器,其特征在于,所述第一衬底(11)为硅基衬底,第二衬底(21)为透明衬底。
4.如权利要求1所述的硅基液晶空间光调制器,其特征在于,所述第一基板(10)与第二基板(20)之间的间距为0.5~50μm。
5.如权利要求4所述的硅基液晶空间光调制器,其特征在于,所述第一基板(10)与第二基板(20)之间的间距为1~5μm。
6.一种硅基液晶空间光调制器的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤S1、提供第一衬底(11),在所述第一衬...
【专利技术属性】
技术研发人员:常嘉兴,李方红,郭建廷,
申请(专利权)人:深圳市科创数字显示技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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