一种基于图像探测器的金属反射式绝对光栅尺制造技术

本发明专利技术涉及一种基于图像探测器的金属反射式绝对光栅尺，解决现有绝对光栅尺装调复杂，稳定性差的技术问题。本发明专利技术的绝对光栅尺包括：金属反射式码尺，测量探头；金属反射式码尺和测量探头分别能发生沿着金属反射式码尺的纵向相对运动；金属反射式码尺上设有多个明暗条纹；测量探头包括：处理控制电路，CCD，以及光源系统。本发明专利技术采用图像处理技术来代替传统莫尔条纹技术，码尺的线条粗，制作工艺简单。在工作无需调制莫尔条纹，只需采集码尺的图像并处理，这样的设计可以大幅度的减小码尺的制作和光栅尺的装调时间，提高工作效率。码尺的制作基底采用金属，增强了绝对光栅尺的抗震性能和环境适应力；同时设计反射式测量探头，减小体积，方便安装。

A metal reflective absolute grating ruler based on image detector

【技术实现步骤摘要】
一种基于图像探测器的金属反射式绝对光栅尺
本专利技术涉及图像探测
，具体涉及一种基于图像探测器的金属反射式绝对光栅尺。
技术介绍
光栅尺是一种直线位移传感器，其中，绝对式光栅尺为数控机床等设备提供绝对的线位移而被广泛应用。目前主要的绝对光栅尺均是利用光的干涉或衍射产生的莫尔条纹，再采用单码道绝对位置编码技术来实现的。由于光的干涉或衍射调制复杂，且对码尺的刻线密度有要求，往往需要复杂的装调和码尺制作工艺。通常码尺的制作基底均采用光学性能优良的光学玻璃，但其抗震性能差，在恶劣的环境中工作性能不稳定。
技术实现思路
本专利技术要解决现有技术中的绝对光栅尺装调复杂，稳定性差的技术问题，提供一种基于图像探测器的金属反射式绝对光栅尺。为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案具体如下：一种基于图像探测器的金属反射式绝对光栅尺，包括：金属反射式码尺，测量探头；所述金属反射式码尺和所述测量探头分别能发生沿着所述金属反射式码尺的纵向相对运动；所述金属反射式码尺上设有多个明暗条纹；所述测量探头包括：处理控制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于图像探测器的金属反射式绝对光栅尺，其特征在于，包括：金属反射式码尺，测量探头；所述金属反射式码尺和所述测量探头分别能发生沿着所述金属反射式码尺的纵向相对运动；/n所述金属反射式码尺上设有多个明暗条纹；/n所述测量探头包括：处理控制电路，CCD，以及光源系统；所述CCD和所述光源系统分别与所述处理控制电路相连；所述处理控制电路可控制所述CCD和所述光源系统工作；所述光源系统可产生平行光，并使其以一定角度入射到所述金属反射式码尺上；所述金属反射式码尺可将光反射到所述CCD上，在所述CCD上呈现明暗条纹图像；/n当所述测量探头相对所述金属反射式码尺运动时，在所述CCD中的明暗条纹图像也会...

【技术特征摘要】
1.一种基于图像探测器的金属反射式绝对光栅尺，其特征在于，包括：金属反射式码尺，测量探头；所述金属反射式码尺和所述测量探头分别能发生沿着所述金属反射式码尺的纵向相对运动；
所述金属反射式码尺上设有多个明暗条纹；
所述测量探头包括：处理控制电路，CCD，以及光源系统；所述CCD和所述光源系统分别与所述处理控制电路相连；所述处理控制电路可控制所述CCD和所述光源系统工作；所述光源系统可产生平行光，并使其以一定角度入射到所述金属反射式码尺上；所述金属反射式码尺可将光反射到所述CCD上，在所述CCD上呈现明暗条纹图像；
当所述测量探头相对所述金属反射式码尺运动时，在所述CCD中的明暗条纹图像也会随之变化，通过分析计算明暗条纹图像的变化可得到线位移。


2.根据权利要求1所述的基于图像探测器的金属反射式绝对光栅尺，其特征在于，所述光源系统在光路方...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩庆阳，陈赟，张晰，高胜英，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22