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本发明涉及一种基于图像探测器的金属反射式绝对光栅尺，解决现有绝对光栅尺装调复杂，稳定性差的技术问题。本发明的绝对光栅尺包括：金属反射式码尺，测量探头；金属反射式码尺和测量探头分别能发生沿着金属反射式码尺的纵向相对运动；金属反射式码尺上设有多...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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