一种基于相变材料的感温型太赫兹探测器制造技术

本专利公开了一种基于相变材料的感温型太赫兹探测器，所述探测器由氧化铝衬底，锑化铟敏感元，二氧化钒光栅结构层，半波天线和器件管座组成。本专利制备的感温型太赫兹探测器，在传统的金属‑半导体‑金属结构基础上，通过引入二氧化钒光栅结构层，利用二氧化钒在环境温度为68℃的相变转换特性，引起光栅结构层的电导率剧烈的变化，进而使整个器件的局域等离子体激元引起的场增强效应不同，达到一种太赫兹波探测的调制目的；在实现了0.01‑3THz的宽波段快速、高灵敏响应的同时，增加了对环境温度感知的新功能。这对于优化器件结构设计和完善器件功能都有着十分重要的意义，在科学和技术等领域将会发挥着重要作用。

A temperature sensitive terahertz detector based on phase change material

【技术实现步骤摘要】
一种基于相变材料的感温型太赫兹探测器
本专利涉及太赫兹光电探测器领域，更具体的说，涉及一种基于相变材料的感温型太赫兹探测器。
技术介绍
太赫兹波是一种波长介于微波和红外之间的电磁波，其频率范围为0.1-10THz，具有定向性好、穿透性强、安全性高等特性，目前已广泛应用于通信、医疗诊断、环境检测等方面。由于目前太赫兹辐射源的功率普遍较低，以及探测器多功能集成化的需求越来越强烈，发展更高灵敏度、高响应率、多功能化的太赫兹探测器，已成为当今研究热点之一。近些年来，超构材料的发展为研究多功能调制型太赫兹探测器奠定了基础。利用电磁超材料的物理性质的环境依赖性，有关研究者已经利用外界的电场强度、光场强度、温度以及机械振动等方式改变材料等效的光学常数，实现了器件对太赫兹波的振幅、频率、相位的调制。其中，利用温度调制太赫兹器件是一种很简单方便可行的方式。在众多对温度敏感的材料中，二氧化钒是一种具有相变性质的金属氧化物，其相变温度为68℃，目前已经被广泛用于智能控温领域。在其相变温度以下，二氧化钒呈绝缘态，电导率较低；在其相变温度以上，二氧化钒呈现金属态本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于相变材料的感温型太赫兹探测器，包括锑化铟敏感元(1)，二氧化钒光栅结构层(2)，氧化铝衬底(3)，树脂垫片(4)，天线电极(5)，金线焊丝(6)，器件引脚(7)，锗单晶半球透镜(8)，器件管座(9)，其特征在于：/n所述的太赫兹探测器结构如下：在氧化铝衬底(3)的上方，依次为锑化铟敏感元(1)，二氧化钒光栅结构层(2)；氧化铝衬底(3)通过树脂垫片(4)粘贴在器件管座(9)上；在氧化铝衬底(3)表面，锑化铟敏感元(1)左右两侧，是天线电极(5)；天线电极(5)与器件引脚(7)用金线焊丝(6)相连；锗单晶半球透镜(8)封装在器件管座(9)上方的卡槽里。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于相变材料的感温型太赫兹探测器，包括锑化铟敏感元(1)，二氧化钒光栅结构层(2)，氧化铝衬底(3)，树脂垫片(4)，天线电极(5)，金线焊丝(6)，器件引脚(7)，锗单晶半球透镜(8)，器件管座(9)，其特征在于：
所述的太赫兹探测器结构如下：在氧化铝衬底(3)的上方，依次为锑化铟敏感元(1)，二氧化钒光栅结构层(2)；氧化铝衬底(3)通过树脂垫片(4)粘贴在器件管座(9)上；在氧化铝衬底(3)表面，锑化铟敏感元(1)左右两侧，是天线电极(5)；天线电极(5)与器件引...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄志明，胡涛，张惜月，陈允枫，张志博，阎蒋伟，潘昌翊，谢浩，王广艳，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：新型
国别省市：上海;31