一种液化型超高纯臭氧制备装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种液化型超高纯臭氧制备装置，用于解决现有技术中难以实现小型设备快速安全稳定制备高纯度臭氧的技术问题，本发明专利技术包括：氧气源模块、臭氧发生模块、臭氧提纯腔、液化池、导热板、液化池温度控制模块、斯特林制冷机、制冷机支撑装置、铜辫子、抽气模块、尾气处理模块。该装置采用斯特林制冷机降温，通过铜辫子传导热量，加上多重减震设计解决斯特林制冷机的振动问题，配备液化池温度控制模块用于控制和维持提纯温区，在一定的气压下，臭氧气体被液化，而氧气被抽气模块抽走，从而实现超高纯臭氧的制备。实施本发明专利技术的技术方案可实现小型设备快速安全稳定制备高纯度臭氧的技术效果。

A liquefied ultra-high purity ozone preparation device

【技术实现步骤摘要】
一种液化型超高纯臭氧制备装置
本专利技术涉及臭氧的生产存储
，特别涉及一种液化型超高纯臭氧制备装置。
技术介绍
臭氧是一种功能多样、极具开发价值的气体，在科研、半导体制造、薄膜制备、水处理、空气净化、医疗卫生、食品加工等许多领域有着广泛应用，但由于臭氧气体容易分解成氧气，不能长时间贮存；而液态臭氧存在爆炸风险，不利于存储和运输，因此臭氧气体基本都是现用现制。不同应用场景对于臭氧浓度的要求不同，某些场景对于臭氧浓度的要求较低，例如：宾馆、超市、学校、食品工厂、食品储仓储、生鲜食品配送中心和其他低浓度臭氧要求的工业环境的空气杀菌消毒和水处理、杀菌保鲜等方面，臭氧浓度维持在15％以下即可，因而可以采用化学法、电化学法、电晕放电法、紫外辐射法等多种方法制备，技术已经较为成熟也较为简单；某些场景对于臭氧浓度的要求较高，例如：氧化物薄膜制备(OMBE、CVD和ALD)、半导体制造领域和研究所高校实验室场景等，臭氧浓度越高越有益于排除杂质对于应用场景的影响，从而更好地实现环境变量的控制，由于高纯度臭氧具有爆炸的危险，因此高纯度的臭氧制备技术需要本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液化型超高纯臭氧制备装置，其特征在于，包括：氧气源模块、臭氧发生模块、臭氧提纯腔、液化池、导热板、液化池温度控制模块、斯特林制冷机、制冷机支撑装置、铜辫子、抽气模块、尾气处理模块；其中，/n所述液化池设置于所述臭氧提纯腔内；/n所述液化池与所述导热板贴合；/n所述斯特林制冷机穿过所述臭氧提纯腔，使所述斯特林制冷机冷头伸入所述臭氧提纯腔内；/n所述铜辫子连接所述斯特林制冷机冷头与所述导热板；/n所述制冷机支撑装置以弹性避震的方式固定所述斯特林制冷机；/n所述抽气模块连通所述臭氧提纯腔，维持所述臭氧提纯腔内的真空度；/n所述尾气处理模块包括臭氧处理器。/n

【技术特征摘要】
1.一种液化型超高纯臭氧制备装置，其特征在于，包括：氧气源模块、臭氧发生模块、臭氧提纯腔、液化池、导热板、液化池温度控制模块、斯特林制冷机、制冷机支撑装置、铜辫子、抽气模块、尾气处理模块；其中，
所述液化池设置于所述臭氧提纯腔内；
所述液化池与所述导热板贴合；
所述斯特林制冷机穿过所述臭氧提纯腔，使所述斯特林制冷机冷头伸入所述臭氧提纯腔内；
所述铜辫子连接所述斯特林制冷机冷头与所述导热板；
所述制冷机支撑装置以弹性避震的方式固定所述斯特林制冷机；
所述抽气模块连通所述臭氧提纯腔，维持所述臭氧提纯腔内的真空度；
所述尾气处理模块包括臭氧处理器。


2.根据权利要求1所述的一种液化型超高纯臭氧制备装置，其特征在于，所述氧气源模块包括氧气瓶、减压阀、第一过滤器和流量计，所述第一过滤器为5μm过滤器。


3.根据权利要求1所述的一种液化型超高纯臭氧制备装置，其特征在于，所述臭氧发生模块包括臭氧发生器和第二过滤器，所述第二过滤器为至少二级的过滤器，包括5μm过滤器和3nm过滤器。


4.根据权利要求1所述的一种液化型超高纯臭氧制备装置，其特征在于，所述液化池温度控制模块包括，第一温度计、加热器、第二温度计、加热电源和控温板；所述第一温度计连接至所述斯特林制冷机冷头，并测量所述斯特林制冷机冷头的温度，发送至所述控温板；所述第二温度计连接至所述导热板，并测量所...

【专利技术属性】
技术研发人员：方衍编，谢斌平，梅新灵，王辉，范鹏，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31