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本发明提供了一种液化型超高纯臭氧制备装置，用于解决现有技术中难以实现小型设备快速安全稳定制备高纯度臭氧的技术问题，本发明包括：氧气源模块、臭氧发生模块、臭氧提纯腔、液化池、导热板、液化池温度控制模块、斯特林制冷机、制冷机支撑装置、铜辫子、抽...
该专利属于费勉仪器科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过费勉仪器科技(上海)有限公司授权不得商用。

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