带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法，带有铁磁芯的螺线电感的制备方法包括如下步骤：1)提供第一基底；2)于第一基底的第一表面形成凹槽；3)提供第二基底；将第二基底与第一基底键合在一起，以使得位于第一基底与第二基底之间的凹槽形成容纳孔；4)于第一基底及第二基底内形成螺旋槽孔，螺旋槽孔位于容纳孔外围，且与容纳孔之间具有间距，螺旋槽孔自容纳孔一端延伸至容纳孔另一端；5)于螺旋槽孔内填充形成螺旋线圈；6)提供铁磁芯，将铁磁芯插入至容纳孔内。本发明专利技术制备的带有铁磁芯的螺线电感的电感值具有较好的一致性，本发明专利技术带有铁磁芯的螺线电感的制备方法比较简单，适于批量化生产。

Spiral inductance with ferromagnetic core and its preparation

【技术实现步骤摘要】
带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法
本专利技术属于集成电路制造
，特别是涉及一种带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法。
技术介绍
带有铁磁芯的螺线电感有旭东用途，譬如，磁通门传感器、微型变压器等等。目前，带有铁磁芯的螺线电感主要是通过漆包线在铁磁芯上绕制而成，而这种螺线电感的电感值一致性较差。随着技术的发展，目前也有基于MEMS技术来制备螺线电感，目前基于MEMS技术制备的螺线电感一般是采用电镀或倒装焊的方式来实现，但这种工艺比较复杂，不适合批量生产。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法用于解决现有技术中的螺线电感存在的电感值一致性较差的问题，以及制备工艺比较复杂，不适合批量生产的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法包括如下步骤：1)提供第一基底，所述第一基底包括相对的第一表面及第二表面；2)于所述第一基底的第一表面形成凹槽；3)提供第二基底，所述第二基底包括相对的第一表面及第二表面；将所述第二基底与所述第一基底键合在一起，以使得位于所述第一基底与所述第二基底之间的凹槽形成容纳孔；所述第二基底的第一表面与所述第一基底的第一表面为键合面；4)于所述第一基底及所述第二基底内形成螺旋槽孔，所述螺旋槽孔位于所述容纳孔外围，且与所述容纳孔之间具有间距，所述螺旋槽孔自所述容纳孔一端延伸至所述容纳孔另一端；5)于所述螺旋槽孔内填充形成螺旋线圈；6)提供铁磁芯，将所述铁磁芯插入至所述容纳孔内。可选地，步骤2)中，于所述第一基底的第一表面形成所述凹槽的同时，还于所述第一基底的第一表面形成若干个定位盲孔，若干个所述定位盲孔定义出步骤4)中形成的所述螺旋槽孔的长度及宽度。可选地，步骤3)中，所述第二基底与所述第一基底键合后，所述容纳孔至所述第一基底第二表面的距离与所述容纳孔至所述第二基底第二表面的距离相同。可选地，步骤3)中提供的所述第二基底的第一表面形成有凹槽。可选地，步骤4)包括如下步骤：4-1)于所述第二基底内形成若干个沿所述容纳孔长度方向平行间隔排布的第一槽孔，所述第一槽孔包括第一沟槽及与所述第一沟槽相连通的第一通孔；其中，所述第一沟槽位于所述第二基底第二表面且沿所述容纳孔宽度方向横跨所述容纳孔；所述第一通孔位于所述容纳孔两侧，与所述第一沟槽两端相连通且自所述第一沟槽延伸至所述第二基底第一表面；4-2)于所述第一基底内形成若干个沿所述容纳孔长度方向平行间隔排布的第二槽孔，所述第二槽孔包括第二沟槽及与所述第二沟槽相连通的第二通孔；其中，所述第二沟槽位于所述第一基底第二表面且沿所述容纳孔宽度方向横跨所述容纳孔；所述第二通孔位于所述容纳孔两侧，与所述第二沟槽两端相连通且自所述第二沟槽延伸至所述第一基底第一表面；所述第二通孔与所述第一通孔一一对应连通，若干个所述第一槽孔与若干个所述第二槽孔共同构成所述螺旋槽孔。可选地，步骤4-1)中，于所述第二基底内形成所述第一槽孔的同时，于所述第二基底的第二表面形成第一电极孔、第二电极孔及第一电极连线沟槽，所述第一电极孔经由所述第一电极连线沟槽与所述螺旋槽孔的一端相连通；步骤4-2)中，于所述第一基底内形成所述第二槽孔的同时，于所述第一基底的第二表面形成第三电极孔、第四电极孔及第二电极连线沟槽，所述第四电极孔经由所述第二电极连线沟槽与所述螺旋槽孔的另一端相连通；所述第三电极孔与所述第一电极孔相连通，所述第四电极孔与所述第二电极孔相连通；步骤5)中，形成所述螺旋线圈的同时于所述第一电极孔内形成第一电极、于所述第二电极孔内形成第二电极、于所述第三电极孔内形成第三电极、于所述第四电极孔内形成第四电极、于所第一电极连线沟槽内形成第一电极连线并于所述第二电极连线沟槽内形成第二电极连线。可选地，步骤3)与步骤4)之间还包括于所述第一基底的第二表面及所述第二基底的第二表面形成氧化层的步骤。可选地，步骤1)与步骤2)之间还包括于所述第一基底的第二表面形成氧化层的步骤；步骤3)与步骤4)之间还包括于所述第二基底的第二表面形成氧化层的步骤。可选地，步骤4)与步骤5)之间还包括于所述螺旋槽孔侧壁形成隔离氧化层的步骤。可选地，步骤5)中，采用微型铸造工艺于所述螺旋槽孔内填充形成螺旋线圈。可选地，步骤5)包括如下步骤：5-1)提供第一盖板及第二盖板，并将所述第一盖板及所述第二盖板分别贴置于所述第一基底的第二表面及所述第二基底的第二表面；所述第一盖板内形成有与所述螺旋槽孔相连通的灌装通孔；5-2)将热熔化的合金经由所述灌装通孔压入所述螺旋槽孔内，所述热熔化的合金填满所述螺旋槽孔；5-3)将所述热熔化的合金固化以形成所述螺旋线圈；5-4)去除所述第一盖板及所述第二盖板。本专利技术还提供一种带有铁磁芯的螺线电感，所述带有铁磁芯的螺线电感包括：第一基底，所述第一基底包括相对的第一表面及第二表面；第二基底，所述第二基底包括相对的第一表面及第二表面；所述第二基底键合于所述第一基底的第一表面，所述第二基底的第一表面与所述第一基底的第一表面为键合面；所述第一基底与所述第二基底之间形成有容纳孔；螺旋线圈，位于所述第一基底及所述第二基底内，且位于所述容纳孔的外围，与所述容纳孔之间具有间距；所述螺旋线圈自所述容纳孔一端延伸至所述容纳孔另一端；铁磁芯，插入至所述容纳孔内。可选地，所述第二基底的厚度小于所述第一基底的厚度，所述容纳孔至所述第一基底第二表面的距离与所述容纳孔至所述第二基底第二表面的距离相同。可选地，所述带有铁磁芯的螺线电感还包括氧化层及隔离氧化层，所述氧化层位于所述第一基底的第二表面及所述第二基底的第二表面，所述隔离氧化层位于所述螺旋线圈与所述第一基底及所述第二基底之间。可选地，所述带有铁磁芯的螺线电感还包括：第一电极，位于所述第二基底的第二表面；第二电极，位于所述第二基底的第二表面；第三电极，位于所述第一基底的第二表面，且与所述第一电极相连接；第四电极，位于所述第一基底的第二表面，且与所述第二电极相连接；第一电极连线，位于所述第二基底的第二表面，一端与所述第一电极相连接，另一端与所述螺旋线圈的一端相连接；第二电极连线，位于所述第一基底的第二表面，一端与所述第四电极相连接，另一端与所述螺旋线圈的另一端相连接。如上所述，本专利技术的一种带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法，具有以下有益效果：本专利技术制备的带有铁磁芯的螺线电感的电感值具有较好的一致性，本专利技术带有铁磁芯的螺线电感的制备方法比较简单，适于批量化生产。附图说明图1显示为本专利技术实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法的流程图。图2显示为本专利技术实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤1)所得结构的端面视图。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，其特征在于，所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法包括如下步骤：/n1)提供第一基底，所述第一基底包括相对的第一表面及第二表面；/n2)于所述第一基底的第一表面形成凹槽；/n3)提供第二基底，所述第二基底包括相对的第一表面及第二表面；将所述第二基底与所述第一基底键合在一起，以使得位于所述第一基底与所述第二基底之间的凹槽形成容纳孔；所述第二基底的第一表面与所述第一基底的第一表面为键合面；/n4)于所述第一基底及所述第二基底内形成螺旋槽孔，所述螺旋槽孔位于所述容纳孔外围，且与所述容纳孔之间具有间距，所述螺旋槽孔自所述容纳孔一端延伸至所述容纳孔另一端；/n5)于所述螺旋槽孔内填充形成螺旋线圈；/n6)提供铁磁芯，将所述铁磁芯插入至所述容纳孔内。/n

【技术特征摘要】
1.一种带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，其特征在于，所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法包括如下步骤：
1)提供第一基底，所述第一基底包括相对的第一表面及第二表面；
2)于所述第一基底的第一表面形成凹槽；
3)提供第二基底，所述第二基底包括相对的第一表面及第二表面；将所述第二基底与所述第一基底键合在一起，以使得位于所述第一基底与所述第二基底之间的凹槽形成容纳孔；所述第二基底的第一表面与所述第一基底的第一表面为键合面；
4)于所述第一基底及所述第二基底内形成螺旋槽孔，所述螺旋槽孔位于所述容纳孔外围，且与所述容纳孔之间具有间距，所述螺旋槽孔自所述容纳孔一端延伸至所述容纳孔另一端；
5)于所述螺旋槽孔内填充形成螺旋线圈；
6)提供铁磁芯，将所述铁磁芯插入至所述容纳孔内。


2.根据权利要求1所述的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，其特征在于，步骤2)中，于所述第一基底的第一表面形成所述凹槽的同时，还于所述第一基底的第一表面形成若干个定位盲孔，若干个所述定位盲孔定义出步骤4)中形成的所述螺旋槽孔的长度及宽度。


3.根据权利要求1所述的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，其特征在于，步骤3)中，所述第二基底与所述第一基底键合后，所述容纳孔至所述第一基底第二表面的距离与所述容纳孔至所述第二基底第二表面的距离相同。


4.根据权利要求1所述的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，其特征在于，步骤3)中提供的所述第二基底的第一表面形成有凹槽。


5.根据权利要求1所述的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，其特征在于，步骤4)包括如下步骤：
4-1)于所述第二基底内形成若干个沿所述容纳孔长度方向平行间隔排布的第一槽孔，所述第一槽孔包括第一沟槽及与所述第一沟槽相连通的第一通孔；其中，所述第一沟槽位于所述第二基底第二表面且沿所述容纳孔宽度方向横跨所述容纳孔；所述第一通孔位于所述容纳孔两侧，与所述第一沟槽两端相连通且自所述第一沟槽延伸至所述第二基底第一表面；
4-2)于所述第一基底内形成若干个沿所述容纳孔长度方向平行间隔排布的第二槽孔，所述第二槽孔包括第二沟槽及与所述第二沟槽相连通的第二通孔；其中，所述第二沟槽位于所述第一基底第二表面且沿所述容纳孔宽度方向横跨所述容纳孔；所述第二通孔位于所述容纳孔两侧，与所述第二沟槽两端相连通且自所述第二沟槽延伸至所述第一基底第一表面；
所述第二通孔与所述第一通孔一一对应连通，若干个所述第一槽孔与若干个所述第二槽孔共同构成所述螺旋槽孔。


6.根据权利要求5所述的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，其特征在于，步骤4-1)中，于所述第二基底内形成所述第一槽孔的同时，于所述第二基底的第二表面形成第一电极孔、第二电极孔及第一电极连线沟槽，所述第一电极孔经由所述第一电极连线沟槽与所述螺旋槽孔的一端相连通；步骤4-2)中，于所述第一基底内形成所述第二槽孔的同时，于所述第一基底的第二表面形成第三电极孔、第四电极孔及第二电极连线沟槽，所述第四电极孔经由所述第二电极连线沟槽与所述螺旋槽孔的另一端相连通；所述第三电极孔与所述第一电极孔相连通，所述第四电极孔与所述第二电极孔相连通；步骤5)中，形成所述螺旋线圈的同时于所述第一电极孔内形成第一电极、于所述第二电极孔内形成第二电极、于所述第三电极孔内形成第三电极、于所述第四电极孔内形成第四电极、于所第一电...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏伟锋，魏旭东，
申请(专利权)人：上海迈铸半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31