一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置，其包括电气控制系统、供气系统、化学气相沉积炉、收尘系统、过滤器、真空泵、油雾分离器、低温冷凝回收装置和尾气处理系统。本实用新型专利技术的化学气相沉积尾气在线回收处理装置设有对尾气进行粉尘过滤的收尘系统和过滤器，一方面可对真空泵起到保护作用，另一方面可去除尾气中的粉尘，降低后续处理的负荷，提高冷却回收气体的洁净度；还设有对尾气进行冷凝回收的低温冷凝回收装置，可在线回收工艺气体，回收率高达90％以上，大大降低了尾气处理系统的处理量和负荷，减少资源浪费，降低了产品的生产成本。

An on-line recovery and treatment device of tail gas from chemical vapor deposition

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置
本技术涉及一种工业尾气处理设备，尤其涉及一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置。
技术介绍
化学气相沉积法是采用气体物质，在真空、高温下发生化学反应，沉积到固体衬体上生成产品的方法，目前被广泛应用到红外领域如硒化锌、硫化锌、碳化硅等的生产。这些产品的生产过程都有一个共同的特点，就是生产过程中一般会使用有毒的工艺气体，如：硒化氢、硫化氢、甲基三氯硅烷等。由于受到化学沉积工艺本身特点所限，采用化学气相沉积法生产的产品，其工艺气体的利用率一般比较低，会有较多的未反应气体进入到尾气中。如若不对尾气进行特殊的处理，一方面会增加尾气排放处理的负荷，另外一方面会增加产品的生产成本，同时造成巨大的资源浪费。因此针对上述问题，本技术提出了一种在线回收化学气相沉积工艺尾气中的工艺气体的装置，以对未完全反应的工艺气体进行回收利用，一方面可降低尾气排放处理的负荷，另一方面可降低产品的生产成本。
技术实现思路
为解决上述现有技术中存在的缺点和不足，本技术提供了一种低温冷凝回收装置，其包括收集罐和冷却夹套，所述收本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置，其特征在于，包括电气控制系统、供气系统、化学气相沉积炉和低温冷凝回收装置；所述供气系统通过所述电气控制系统向所述化学气相沉积炉供给工艺气体；所述低温冷凝回收装置对所述化学气相沉积炉排出的工艺尾气进行冷凝回收；所述低温冷凝回收装置包括收集罐和冷却夹套，所述收集罐用于对化学气相沉积的工艺尾气进行冷凝收集，所述冷却夹套用于为所述收集罐提供冷却环境，所述冷却夹套套设于所述收集罐的外部，所述冷却夹套内流通冷却介质，所述收集罐上设有进气管和排气管。/n

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置，其特征在于，包括电气控制系统、供气系统、化学气相沉积炉和低温冷凝回收装置；所述供气系统通过所述电气控制系统向所述化学气相沉积炉供给工艺气体；所述低温冷凝回收装置对所述化学气相沉积炉排出的工艺尾气进行冷凝回收；所述低温冷凝回收装置包括收集罐和冷却夹套，所述收集罐用于对化学气相沉积的工艺尾气进行冷凝收集，所述冷却夹套用于为所述收集罐提供冷却环境，所述冷却夹套套设于所述收集罐的外部，所述冷却夹套内流通冷却介质，所述收集罐上设有进气管和排气管。


2.如权利要求1所述的化学气相沉积尾气在线回收处理装置，其特征在于，所述进气管的一端插入所述收集罐内，并延伸至所述收集罐的底部；所述排气管设于所述收集罐的顶部。


3.如权利要求1所述的化学气相沉积尾气在线回收处理装置，其特征在于，所述收集罐的顶部还设有安全阀。


4.如权利要求1所述的化学气相沉积尾气在线回收处理装置，其特征在于，还包括收尘系统，所述收尘系统设于所述化学气相沉积炉和所述低温冷凝回收装置之间，所述收尘系统的进气口与所述化学气相沉积炉连接，以对所述化学气相沉积炉排出的工艺尾气进行粉尘过滤。


5.如权利要求4所述的化学气相沉积尾气在线回收处理装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：于金凤，秦宏硕，朱刘，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34