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本实用新型公开了一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置，其包括电气控制系统、供气系统、化学气相沉积炉、收尘系统、过滤器、真空泵、油雾分离器、低温冷凝回收装置和尾气处理系统。本实用新型的化学气相沉积尾气在线回收处理装置设有对尾气进行粉尘过滤的收...
该专利属于安徽光智科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽光智科技有限公司授权不得商用。

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