【技术实现步骤摘要】
一种X射线管老化用双真空排气系统
本技术涉及X射线管
,尤其涉及一种X射线管老化用双真空排气系统。
技术介绍
X射线管的生产、测试需要的条件比较高。为了实现X射线管的管内超高真空环境,就需要将X射线管安装到超高真空排气台上。抽真空的同时在X射线管上施加几万伏到几十万伏的高压,用于老化X射线管,将X射线管内微小尘埃击穿,再由真空系统抽走,从而达到X射线管内真空的洁净度,保证X射线管后续的使用。但这会造成高压和电离辐射的危险,所以操作起来比较困难。另外,X射线管也容易氧化,影响X射线管的质量和性能。
技术实现思路
本技术的目的是克服上述现有技术存在的缺陷,提供一种X射线管老化用双真空排气系统,能够有效抑制X射线管氧化,保证X射线管的质量和性能。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种X射线管老化用双真空排气系统,包括真空罐体,真空罐体放置在排气台上,真空罐体通过第一真空排气法兰和高真空排气系统相连通,真空罐体内布置X射线管,X射线管内部和排气管连通,排气管通过第二真空排气法兰和真空罐体外部的超高 ...
【技术保护点】
1.一种X射线管老化用双真空排气系统,其特征在于:包括真空罐体(10),真空罐体(10)放置在排气台(20)上,真空罐体(10)通过第一真空排气法兰(30)和高真空排气系统相连通,真空罐体(10)内布置X射线管(40),X射线管(40)内部和排气管(50)连通,排气管(50)通过第二真空排气法兰(60)和真空罐体(10)外部的超高真空排气系统相连通,真空罐体(10)的罐壁上固定高压电缆插头(70)和多芯真空电极(80),高压电缆插头(70)分别和X射线管(40)的阳极、高压发生器相连,多芯真空电极(80)分别和X射线管(40)的阴极、控制电路相连,高压发生器和控制电路均布置 ...
【技术特征摘要】
1.一种X射线管老化用双真空排气系统,其特征在于:包括真空罐体(10),真空罐体(10)放置在排气台(20)上,真空罐体(10)通过第一真空排气法兰(30)和高真空排气系统相连通,真空罐体(10)内布置X射线管(40),X射线管(40)内部和排气管(50)连通,排气管(50)通过第二真空排气法兰(60)和真空罐体(10)外部的超高真空排气系统相连通,真空罐体(10)的罐壁上固定高压电缆插头(70)和多芯真空电极(80),高压电缆插头(70)分别和X射线管(40)的阳极、高压发生器相连,多芯真空电极(80)分别和X射线管(40)的阴极、...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘骏,王刘成,张伟,
申请(专利权)人:无锡日联科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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