一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术针对复杂曲面微加工难题，提供一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置，包括大理石底座1、XY轴移动平台2、C轴旋转平台3、A轴旋转平台4、场镜5、扫描振镜6、Z轴移动平台7、反射镜一8、连接板9、激光器10、反射镜二11、导轨滑块一12、半波片13、大理石支撑板14、偏振片15、反射镜三16、导轨滑块二17、A轴安装板18和C轴安装板19，其特征是：扫描振镜6、场镜5、反射镜一8通过Z轴移动平台7安装在大理石支撑板14上，C轴旋转平台3、A轴旋转平台4安装在XY轴移动平台2，XY轴移动平台2、激光器10、反射镜二11、反射镜三16、半波片13、偏振片15安装在大理石底座1上。

A five axis laser micromachining device based on scanning galvanometer

【技术实现步骤摘要】
一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置
本专利技术涉及激光微加工技术，具体涉及一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置。
技术介绍
激光微加工技术有诸多优点，如非接触工艺、高精度、高效率、能够实现柔性加工等。因此，激光微加工在工业制造中有着广泛的应用。激光扫描振镜是一种常见的激光扫描系统，具有高速、高精度、高灵活性的特点，可以实现光束的快速扫描和偏转，极大地提高了加工效率。当前，激光微加工装备大多采用三轴机床和二轴扫描振镜组合而成，可以实现曲率变化较小的曲面微加工，但加工过程中光束的空间姿态无法进行调整，难以进行复杂曲面微加工。五轴机床可以实现复杂曲面的微加工，但加工过程依靠机床频繁加减速运动来完成，限制了加工效率。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提出一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置。本技术的技术方案如下：一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置，主要包括：大理石底座1、XY轴移动平台2、C轴旋转平台3、A轴旋转平台4、场镜5、扫描振镜6、Z轴移动平台7、反射镜一8、连接板9、激光器10、反射镜二11本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置，主要包括：大理石底座(1)、XY轴移动平台(2)、C轴旋转平台(3)、A轴旋转平台(4)、场镜(5)、扫描振镜(6)、Z轴移动平台(7)、反射镜一(8)、连接板(9)、激光器(10)、反射镜二(11)、导轨滑块一(12)、半波片(13)、大理石支撑板(14)、偏振片(15)、反射镜三(16)、导轨滑块二(17)、A轴安装板(18)和C轴安装板(19)，其特征是：XY轴移动平台(2)和激光器(10)安装在大理石底座(1)上，分别位于大理石支撑板(14)的前后两侧，通过在大理石支撑板(14)的一侧开一个较大的圆形通孔使得从激光器(10)发出的激光束能够通过...

【技术特征摘要】
1.一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置，主要包括：大理石底座(1)、XY轴移动平台(2)、C轴旋转平台(3)、A轴旋转平台(4)、场镜(5)、扫描振镜(6)、Z轴移动平台(7)、反射镜一(8)、连接板(9)、激光器(10)、反射镜二(11)、导轨滑块一(12)、半波片(13)、大理石支撑板(14)、偏振片(15)、反射镜三(16)、导轨滑块二(17)、A轴安装板(18)和C轴安装板(19)，其特征是：XY轴移动平台(2)和激光器(10)安装在大理石底座(1)上，分别位于大理石支撑板(14)的前后两侧，通过在大理石支撑板(14)的一侧开一个较大的圆形通孔使得从激光器(10)发出的激光束能够通过反射镜传导至大理石支撑板(14)的前侧，再利用反射镜的若干次反射、扫描振镜(6)和场镜(5)的先后作用使光斑聚焦在由XY轴移动平台(2)、A轴旋转平台(4)和C轴旋转平...

【专利技术属性】
技术研发人员：王兴盛，章剑，沈博，黄宇珂，徐斌，
申请(专利权)人：南京农业大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32