【技术实现步骤摘要】
一种大口径平面干涉仪载物台
本技术涉及平面干涉仪设备
，特别涉及一种大口径平面干涉仪载物台。
技术介绍
利用大口平面干涉仪测量平面元件的平面度时，需要将被测元件竖起来，并且需要调整被测元件与干涉仪标准镜之间的角度，使得他们之间的夹角接近0度，也就是使它们接近绝对平行，要使得调整精度如此之高就需要高精密的载物台，目前，无法实现简便、精密地调节载物台的俯仰角度。
技术实现思路
本技术通过调整标准尺与匹配尺的相对位置，确定匹配尺呈竖直状态，进而确定与匹配尺垂直的俯仰台呈水平状态，解决了现有技术无法简便、精密调节俯仰台俯仰角度的问题。为了实现上述目的，本技术实施例提供了一种大口径平面干涉仪载物台，所述大口径平面干涉仪载物台包括支架底板、俯仰台、固定支脚、可调节支脚、检测组件；所述俯仰台设置在所述支架底板上，所述固定支脚包括第一固定支脚以及第二固定支脚，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚设在所述支架底板与所述俯仰台之间，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚前后间隔地设置在所述俯仰台的底面上并位于所述
【技术保护点】
1.一种大口径平面干涉仪载物台，其特征在于，所述大口径平面干涉仪载物台包括支架底板、俯仰台、固定支脚、可调节支脚、检测组件；/n所述俯仰台设置在所述支架底板上，所述固定支脚包括第一固定支脚以及第二固定支脚，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚设在所述支架底板与所述俯仰台之间，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚前后间隔地设置在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的左侧；/n所述可调节支脚设置在所述支架底板与所述支架底板与所述俯仰台之间，所述可调节支脚设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的右侧，所述第一固定支脚、所述第二固定支脚与所述可调节支脚的中心点连线构成等腰三角形；/n所述...
【技术特征摘要】
1.一种大口径平面干涉仪载物台，其特征在于，所述大口径平面干涉仪载物台包括支架底板、俯仰台、固定支脚、可调节支脚、检测组件；
所述俯仰台设置在所述支架底板上，所述固定支脚包括第一固定支脚以及第二固定支脚，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚设在所述支架底板与所述俯仰台之间，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚前后间隔地设置在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的左侧；
所述可调节支脚设置在所述支架底板与所述支架底板与所述俯仰台之间，所述可调节支脚设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的右侧，所述第一固定支脚、所述第二固定支脚与所述可调节支脚的中心点连线构成等腰三角形；
所述检测组件包括标准尺、匹配尺，所述匹配尺固定在所述俯仰台的下侧，且所述匹配尺垂直于...
【专利技术属性】
技术研发人员：王娇，
申请(专利权)人：长春百纳光电子产品有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林;22
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