下载一种大口径平面干涉仪载物台的技术资料

文档序号:24631996

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种大口径平面干涉仪载物台,涉及平面干涉仪设备技术领域,包括支架底板、俯仰台、固定支脚、可调节支脚、检测组件;俯仰台设置在支架底板上,固定支脚包括第一固定支脚以及第二固定支脚,第一固定支脚和第二固定支脚设在支架底板与俯仰台之...
该专利属于长春百纳光电子产品有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长春百纳光电子产品有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。