【技术实现步骤摘要】
一种Si-B-C三组元相的高通量制备方法
本专利技术涉及一种高温抗氧化Si-B-C三元相的高通量制备方法，所制备的三元相可用于陶瓷基复合材料基体，也可应用于石墨片、C/C复合材料和陶瓷基复合材料等块体材料表面的高温抗氧化涂层，属于复合材料领域。
技术介绍
连续纤维增强碳化硅陶瓷基复合材料主要是指C/SiC、SiC/SiC陶瓷基复合材料，它具有耐高温、抗氧化、高比强度、高比模量、耐焼蚀、良好的化学稳定性等优良性能，是目前研究的最多的一种航空发动机用高温材料，然而在陶瓷基复合材料制备过程中，由于纤维基体之间热膨胀系数的差异，导致材料内部不可避免地存在微裂纹，同时由于制备基体所采用的的工艺的自身缺陷，导致所制备的材料会存在一定的孔隙度，这些微裂纹和孔隙为氧从材料外部扩散至内部提供了一个通道，导致纤维容易发生氧化损失，致使材料脆性断裂，最终缩短材料使用寿命，从而影响陶瓷基复合材料在发动机领域的长期稳定应用。碳化硅作为陶瓷基复合材料基体的重要组成部分，由于其本身在高温下氧化生成的二氧化硅具备一定的流动性并且氧通过SiO2层的速...
【技术保护点】
1.一种Si-B-C三组元相的高通量制备方法，其特征在于，包括：/n（1）将多片基板分别放入到沉积反应室中的不同区域内；/n（2）抽真空、充入惰性气体再抽真空；/n（3）加热所述沉积反应室中的所述不同区域至不同的设定温度以使所述不同区域处于不同的温度场；/n（4）通入SiCH
【技术特征摘要】
1.一种Si-B-C三组元相的高通量制备方法，其特征在于，包括：
（1）将多片基板分别放入到沉积反应室中的不同区域内；
（2）抽真空、充入惰性气体再抽真空；
（3）加热所述沉积反应室中的所述不同区域至不同的设定温度以使所述不同区域处于不同的温度场；
（4）通入SiCH3Cl3、BCl3、和H2，反应规定时间，以在各基板表面沉积形成Si-B-C三元相。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述基板的材料为碳或/和碳化硅，优选为碳纤维、SiC纤维、碳纤维织体、SiC纤维编织体、石墨片、C/SiC陶瓷基复合材料、SiC/SiC陶瓷基复合材料中的一种。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，在加热所述沉积反应室之前，所述沉积反应室的真空度不高于3Pa。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤（3）中，以5～10℃/分钟的升温速率升温至设定温度；优选以10℃/分钟升温至700℃后，再以5℃/分钟升温至所述设定...
【专利技术属性】
技术研发人员：董绍明，廖春景，靳喜海，胡建宝，章龙龙，高乐，王震，
申请(专利权)人：中国科学院上海硅酸盐研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31
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