一种悬空石墨烯结构的制备方法及由其得到的悬空石墨烯结构和应用技术

本发明专利技术提供了一种悬空石墨烯结构的制备方法及由其得到的悬空石墨烯结构和应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)对待处理膜片进行图案化处理，得到图案化区域和其余区域；其中，所述待处理膜片包括依次设置的牺牲层、石墨烯片层和电子束胶层；所述图案化处理包括将石墨烯片部分区域裸露；(2)依次除去所述其余区域和牺牲层，然后将图案化区域转移至衬底上，得到所述悬空石墨烯结构。本发明专利技术提供的制备方法不涉及腐蚀性液体，操作过程简单，易于进行石墨烯的转移和组装。本发明专利技术提供的制备方法可以实现不同形状以及不同尺寸的石墨烯材料的悬空结构的制备，也可以用于任意衬底。

Preparation method of suspended graphene structure and its obtained suspended graphene structure and Application

【技术实现步骤摘要】
一种悬空石墨烯结构的制备方法及由其得到的悬空石墨烯结构和应用
本专利技术属于石墨烯制备领域，涉及一种悬空石墨烯结构的制备方法及由其得到的悬空石墨烯结构和应用。
技术介绍
石墨烯是一种由碳原子组成的拥有蜂窝状结构的二维薄膜。由于其优异的电子迁移率、单原子层的厚度及超高的机械强度而被认为在信息技术、半导体、生物传感、能源和环境保护等众多领域有广阔的应用前景。在半导体
，石墨烯因其优异的电学性能而被认为可能取代硅成为下一代半导体技术的基础材料。传统的石墨烯一般生长在绝缘衬底之上或转移到绝缘衬底之上，然后用于制备功能器件。然而，石墨烯与衬底的相互作用会降低石墨烯的电子迁移率，进而降低石墨烯功能器件的性能。另外，石墨烯在分子探测领域有广阔的应用前景，制备高质量的悬空石墨烯是其关键的一步。例如，基于石墨烯的纳米孔被认为有潜力应用于生物传感领域，特别是下一代DNA测序技术。因此，制备悬空石墨烯一直是相关领域内科学技术人员努力的方向之一。CN109824046A公开了一种制备Janus结构的悬空石墨烯支撑膜的方法，该方法包括：通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种悬空石墨烯结构的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：/n(1)对待处理膜片进行图案化处理，得到图案化区域和其余区域；/n其中，所述待处理膜片包括依次设置的牺牲层、石墨烯片层和电子束胶层；/n所述图案化处理包括将石墨烯片部分区域裸露；/n(2)依次除去所述其余区域和牺牲层，然后将图案化区域转移至衬底上，得到所述悬空石墨烯结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种悬空石墨烯结构的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：
(1)对待处理膜片进行图案化处理，得到图案化区域和其余区域；
其中，所述待处理膜片包括依次设置的牺牲层、石墨烯片层和电子束胶层；
所述图案化处理包括将石墨烯片部分区域裸露；
(2)依次除去所述其余区域和牺牲层，然后将图案化区域转移至衬底上，得到所述悬空石墨烯结构。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述待处理膜片的制备方法包括如下步骤：
利用甩胶在基底上制备牺牲层，然后利用胶带在牺牲层上设置单层石墨烯片，最后利用甩胶在石墨烯片层上设置电子胶束层，得到所述待处理膜片。


3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述牺牲层选自聚乙烯醇层；
优选地，所述电子胶束层选自聚甲基丙烯酸甲酯层。


4.根据权利要求1-3中的任一项所述的制备方法，其特征在于，所述进行图案化处理的方式为电子束曝光。


5.根据权利要求1-4...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋学锋，曾维军，王尧，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：发明
国别省市：广东;44