金属氧化物粒子材料的制造方法技术

本发明专利技术应解决的课题是提供一种能够减少含有的水分的量的金属氧化物粒子材料的制造方法。所述金属氧化物粒子材料的制造方法具有如下工序：制备工序，制备具有金属粒子材料和将所述金属粒子材料分散的分散介质的金属粒子材料分散体系，以及燃烧工序，将所述金属粒子材料分散体系供给到氧化气氛气体中，使所述金属粒子材料燃烧，从而制造金属氧化物粒子材料；所述金属氧化物粒子材料的制造方法具有水分量控制工序，将所述分散介质和所述氧化气氛气体中含有的水分控制在一定值以下。

Manufacturing method of metal oxide particle material

【技术实现步骤摘要】
金属氧化物粒子材料的制造方法
本专利技术涉及能够制造介质损耗角正切小的金属氧化物粒子材料的金属氧化物粒子材料的制造方法。
技术介绍
作为半导体装置的密封材料、基板材料、其它电子材料，采用金属氧化物粒子材料，特别是已知有在树脂材料中分散金属氧化物粒子材料而成的树脂组合物(专利文献1～3等)。作为制造金属氧化物粒子材料的方法之一，已知有通过将由金属构成的粒子材料投入到氧化气氛气体中使其燃烧而形成金属氧化物粒子材料的方法(VMC法)(专利文献3、4等)。此外，在专利文献2中公开了在将使金属氧化物粒子材料分散在树脂材料中而成的树脂组合物应用于电子材料时，对于所分散的金属氧化物粒子材料，通过使物理吸附水的量为50ppm以下，压力锅试验的结果变得理想。专利文献2中，作为减少金属氧化物粒子材料的物理吸附水的量的方法，公开了采用热处理法，即对所制造的金属氧化物粒子材料进行加热、干燥。应予说明，如果二氧化硅超过200℃进行加热，则表面OH基(结合水)开始被除去(例如参照非专利文献1)，因此，二氧化硅的物理吸附水通过加热至200℃而测定。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属氧化物粒子材料的制造方法，具有如下工序：/n制备工序，制备具有金属粒子材料和将所述金属粒子材料分散的分散介质的金属粒子材料分散体系，以及/n燃烧工序，将所述金属粒子材料分散体系供给到氧化气氛气体中，使所述金属粒子材料燃烧，从而制造金属氧化物粒子材料；/n所述金属氧化物粒子材料的制造方法具有水分量控制工序，将所述分散介质和所述氧化气氛气体中含有的水分控制在一定值以下，/n所述分散介质和所述氧化气氛气体的至少一部分为空气，/n所述水分量控制工序具有干燥工序，除去所述空气中含有的水分的至少一部分。/n

【技术特征摘要】
20190227 JP 2019-0349371.一种金属氧化物粒子材料的制造方法，具有如下工序：
制备工序，制备具有金属粒子材料和将所述金属粒子材料分散的分散介质的金属粒子材料分散体系，以及
燃烧工序，将所述金属粒子材料分散体系供给到氧化气氛气体中，使所述金属粒子材料燃烧，从而制造金属氧化物粒子材料；
所述金属氧化物粒子材料的制造方法具有水分量控制工序，将所述分散介质和所述氧化气氛气体中含有的水分控制在一定值以下，
所述分散介质和所述氧化气氛气体的至少一部分为空气，
所述水分量控制工序具有干燥工序，除去所述空气中含有的水分的至少一部分。


2.一种金属氧化物粒子材料的制造方法，具有如下工序：
制备工序，制备具有金属粒子材料和将所述金属粒子材料分散的分散介质的金属粒子材料分散体系，以及
燃烧工序，将所述金属粒子材料分散体系供给到氧化气氛气体中，使所述金属粒子材料燃烧，从而制备金属氧化物粒子材料；
所述金属氧化物粒子材料的制造方法具有水分量控制工序，将所述分散介质和所述氧化气氛气体中含有的水分控制在一定值以下，
所述分散介质和所述氧化气氛气体的至少一部分为空气，
所述水分量控制工序为测定所述空气的绝对湿度...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边友祐，富田亘孝，新井雄己，
申请(专利权)人：株式会社亚都玛科技，
类型：发明
国别省市：日本;JP