误差吸收模块、搬运装置和检测设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种误差吸收模块、搬运装置和检测设备，该误差吸收模块包括安装座；取放机构，与所述安装座连接，用于收取或者放置工件；导向组件，安装在所述取放机构底部，对取放机构导向，使取放机构与安装在取放机构下方的治具对准；旋转机构，所述旋转机构设置在所述安装座与所述取放机构之间，用于在取放机构与治具对准过程中跟随所述取放机构旋转，从而吸收取放机构的角度误差；以及回转机构，所述回转机构设置在所述安装座与所述取放机构之间，以带动所述取放机构恢复初始位。本实用新型专利技术能够吸收治具的角度误差，使得安装稍有误差的治具，仍可以正常作业，降低了加工件的精度要求，降低了加工成本，同时提高了设备的运行稳定性。

Error absorption module, handling device and testing equipment

【技术实现步骤摘要】
误差吸收模块、搬运装置和检测设备
本技术涉及测试领域，特别涉及一种误差吸收模块、搬运装置和检测设备。
技术介绍
随着半导体行业的迅速发展，芯片设计、封装及检测等行业具有广阔的应用前景。尤其在芯片的检测领域中，经常需要精确搬运、放置工件或将工件插入固定型腔中。在芯片搬运过程中，芯片需要由标准治具搬运至测试工位，测试工位上的治具多为加工品且需要频繁更换，用常规搬运装置，在更换测试工位的治具后，由于治具的安装误差，芯片往往被放偏，造成工程实践浪费。为了保证工件的位置精度和检测效果，现有技术中采用以下两种通用方式：一种是提高设备的运行、装配和加工精度，保证工件放置或插入固定型腔时，精度完全在控制范围内。然而，该方式对设备加工件的加工精度、装备精度和运行精度都有特别高的要求，造成了加工资源的浪费，同时也导致设备成本增加。另一种方式是采用对位相机对工件进行光学对准，但是增加对位相机同样导致设备的成本提高。
技术实现思路
本技术提供一种误差吸收模块、搬运装置和检测设备，可以在不增加设备成本的前提下，保证工件的搬运和放置精度。为解决上述技术问题，本技术提供一种误差吸收模块，包括：安装座，用于与外部机构连接；取放机构，与所述安装座连接，用于收取或者放置工件；导向组件，安装在所述取放机构底部，对取放机构导向，使取放机构与安装在取放机构底部的治具对准；旋转机构，所述旋转机构设置在所述安装座与所述取放机构之间，用于在取放机构与治具对准过程中跟随所述取放机构旋转，以吸收取放机构的角度误差；以及回转机构，所述回转机构设置在所述安装座与所述取放机构之间，以带动所述取放机构恢复初始位。作为优选，所述导向组件采用底部设置有倒圆锥台结构的导向销，所述治具上设置有与所述导向销对应的导向孔。作为优选，所述旋转机构采用交叉滚子轴承，所述交叉滚子轴承的外圈与所述安装座连接，所述交叉滚子轴承的内圈与所述回转机构连接。作为优选，所述回转机构包括转接盘和复位结构，其中，所述转接盘与所述旋转机构连接，所述复位结构的一端与所述安装座连接，所述复位结构的另一端与所述转接盘的边缘接触，以便带动转接盘复位。作为优选，所述回转机构还包括一端与所述安装座连接的回转限制销，所述转接盘的外周开设有与回转限制销的另一端位置对应的回转限制槽。作为优选，所述复位结构采用板簧，所述板簧通过板簧座与所述安装座连接。作为优选，所述转接盘的外周开设有板簧限制槽，所述板簧与所述板簧限制槽的一侧内壁贴合。作为优选，所述板簧至少设置有两组，分别从两个不同方向对偏移的取放机构进行复位。本技术还提供一种搬运装置，包括如上所述的误差吸收模块。本技术还提供一种检测设备，包括如上所述的误差吸收模块。与现有技术相比，本技术具有以下优点：本技术采用旋转机构，可以在取放机构与治具之间存在角度误差时跟随取放机构旋转，吸收掉取放机构的偏移误差，实现取放机构与治具的对准。如此既保证了取放机构放置芯片的精确度，又不会提高加工件的精度要求，且不会增加额外的设备成本，降低了加工成本。此外，本技术通过回转机构，可以将上述因角度误差而旋转的取放机构，带动回转并恢复到原位。因此，本技术能够吸收治具的角度误差，使得安装时稍有误差的治具，依然可以正常作业，相对于现有技术降低了加工件的精度要求，降低了加工成本，同时提高了设备的运行稳定性。附图说明图1和图2分别为本技术的误差吸收模块的立体结构示意图；图3为本技术的误差吸收模块的主视图；图4为本技术的误差吸收模块的侧视图。图中所示：1、安装座；2、取放机构；3、旋转机构；4、回转机构；5、导向组件；6、治具；41、转接盘；42、复位结构；43、回转限制销；411、板簧限制槽；412、回转限制槽；421、板簧；422、板簧座；51、导向销；52、导向孔。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。芯片检测之前，需要将芯片搬运至测试工位处的治具上，由于治具为加工品且需要频繁更换，在更换治具之后，会出现治具安装误差，导致芯片在治具中被放偏。采用本实施例的误差吸收模块可以在放置芯片的过程中，吸收掉治具的安装误差，确保芯片可以被正确放置。如图1至图4所示，本实施例的误差吸收模块，包括安装座1、取放机构2、旋转机构3、回转机构4和导向组件5。其中，所述安装座1与外部机构例如移动机构连接，用于为其他部件提供支撑和安装空间。所述旋转机构3固定在所述安装座1的下方，用于为取放机构2提供旋转自由度，即：在取放机构2与治具6之间存在角度误差难以精确对准时，取放机构2会跟随旋转机构3旋转，从而可以与治具精确对准。所述回转机构4设置在旋转机构3与取放机构2之间，用于将旋转之后的取放机构2带回到原始位置，以保证取放机构2的位置精度。所述导向组件5设置在取放机构2底部，用于与取放机构2下方的治具6进行对准，当取放机构2与所述治具6之间存在的角度误差时，导向组件5会在放置或者压入芯片的过程中也即是与治具6对接过程中，对取放机构2的角度做强制校准，使取放机构2受力旋转，进而消除掉了取放机构2的角度误差。请参照图1和2，所述导向组件5采用导向销51，所述治具6上设置有与所述导向销51对应的导向孔52。在进行芯片放置或者芯片压入操作时，需要将导向销51插入到所述导向孔52中，以实现精确对准。由于治具6存在安装误差问题，在实际操作中，导向销51与导向孔52并不是处于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种误差吸收模块，其特征在于，包括：/n安装座，用于与外部的移动机构连接；/n取放机构，与所述安装座连接，用于收取或者放置工件；/n导向组件，安装在所述取放机构底部，对取放机构导向，使取放机构与安装在取放机构下方的治具对准；/n旋转机构，所述旋转机构设置在所述安装座与所述取放机构之间，用于在取放机构与治具对准过程中跟随所述取放机构旋转，从而吸收取放机构的角度误差；/n以及/n回转机构，所述回转机构设置在所述安装座与所述取放机构之间，以带动所述取放机构恢复初始位。/n

【技术特征摘要】
1.一种误差吸收模块，其特征在于，包括：
安装座，用于与外部的移动机构连接；
取放机构，与所述安装座连接，用于收取或者放置工件；
导向组件，安装在所述取放机构底部，对取放机构导向，使取放机构与安装在取放机构下方的治具对准；
旋转机构，所述旋转机构设置在所述安装座与所述取放机构之间，用于在取放机构与治具对准过程中跟随所述取放机构旋转，从而吸收取放机构的角度误差；
以及
回转机构，所述回转机构设置在所述安装座与所述取放机构之间，以带动所述取放机构恢复初始位。


2.根据权利要求1所述的一种误差吸收模块，其特征在于，所述导向组件采用底部设置有倒圆锥台结构的导向销，所述治具上设置有与所述导向销对应的导向孔。


3.根据权利要求1所述的一种误差吸收模块，其特征在于，所述旋转机构采用交叉滚子轴承，所述交叉滚子轴承的外圈与所述安装座连接，所述交叉滚子轴承的内圈与所述回转机构连接。


4.根据权利要求1所述的一种误差吸收模块，其特征在于，所述回转机构包括转接盘和复位结构，其中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：史赛，曹振军，杨胜利，
申请(专利权)人：苏州华兴源创科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32