宽温域自润滑MoN-VN多层涂层的制备方法及应用技术

本发明专利技术公开了一种宽温域自润滑MoN‑VN多层涂层的制备方法及其应用,所述多层涂层由MoN和VN交替叠加组成，该制备方法是在氮气环境中，利用磁控溅射技术，通过调控基底样品的转速，制备出具有不同调制周期的MoN/VN多层涂层，与现有技术相比，通过调整调制周期的不同，制备出的调制周期为22.66nm的MoN/VN多层涂层在宽温域环境下的摩擦系数最低，在700℃时能达到0.28，本发明专利技术提供的宽温域自润滑MoN/VN多层涂层在宽温域环境下具有长寿命和良好自润滑性能，可用于宽温域环境下的基体防护，同时其制备工艺简单可控，具有广阔应用前景。

Preparation and application of wide temperature range self-lubricating mon-vn multilayer coating

【技术实现步骤摘要】
宽温域自润滑MoN-VN多层涂层的制备方法及应用
本专利技术涉及低润滑氮化物涂层
，具体为一种宽温域自润滑MoN-VN多层涂层的制备方法及应用，属于表面处理

技术介绍
在宽温域环境下，航空发动机涡轮叶片等金属部件极易发生变形，导致部件摩擦表面较为严重的摩擦磨损行为，严重降低了空间装备的可靠性和服役寿命。一般低温工况下，金属机械部件的润滑主要采用润滑油和二硫化钼、碳等固体润滑剂。但是，随着服役温度的增高，润滑油脂易挥发，二硫化钼和碳等发生氧化，形成磨粒，无法发挥优异的润滑作用。硬质氮化物涂层具有良好的化学稳定性和耐磨性，在低温和高温环境下均能发挥良好的润滑作用，越来越多的应用于降低零部件的摩擦磨损性能上。VN和MoN在高温摩擦过程中发生氧化反应，生成易剪切相V2O5和MoO3，能很好的在高温环境下起到润滑作用。但是一般的纯VN涂层由于具有较高的室温摩擦系数，纯MoN涂层的高温摩擦系数也比较高，不能满足宽温域润滑性能的要求，因此，亟待一种改进的技术来解决现有技术中所存在的这一问题
技术实现思路
>一般制备硬质涂层的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种宽温域自润滑MoN-VN多层涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：/n步骤一：采用磁控溅射技术，选用Mo靶和V靶，以高纯氮气作为工作气体，在经预处理后的基体表面沉积MoN/VN多层涂层；/n步骤二：对基体表面进行离子刻蚀；/n步骤三：先在经预处理后的基体表面沉积Mo过渡层，之后再沉积多层涂层。/n

【技术特征摘要】
1.一种宽温域自润滑MoN-VN多层涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤一：采用磁控溅射技术，选用Mo靶和V靶，以高纯氮气作为工作气体，在经预处理后的基体表面沉积MoN/VN多层涂层；
步骤二：对基体表面进行离子刻蚀；
步骤三：先在经预处理后的基体表面沉积Mo过渡层，之后再沉积多层涂层。


2.根据权利要求1所述的一种宽温域自润滑MoN-VN多层涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤三中多层涂层MoN和VN层交替沉积组成，其中MoN层与VN层的厚度之比约为2:1。


3.根据权利要求1所述的一种宽温域自润滑MoN-VN多层涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤三中多层涂层内MoN层与VN层分别主要由MoN相与VN相以单晶形式存在。


4.根据权利要求1所述的一种宽温域自润滑MoN-VN多层涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤三中多层涂层在室温下的摩擦系数为0.32～0.4，在3...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒲吉斌，毛春龙，王文哲，陈善俊，王立平，毛金根，卢光明，
申请(专利权)人：江苏金晟元特种阀门股份有限公司，中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：江苏;32